[实用新型]一种类金刚石镀膜制备设备

摘要

本实用新型提供一种类金刚石镀膜制备设备，包括真空腔体、伴热装置、扩散器、流量控制器；其中，所述流量控制器一端设有导入管，另一端设有第一导出管，所述第一导出管与所述扩散器导通；所述扩散器通过第二导出管与所述真空腔体导通，所述伴热装置分别设置于所述第一导出管和所述第二导出管上。通过增加扩散器以及伴热装置，实现类金刚石镀膜制制备过程中液态前驱物的掺杂，从而提高了热稳定性，降低了薄膜的内应力，进一步地，通过设置清洗装置，将基片的清洗环节与类金刚石镀膜制备整合在一起，进一步提高了制备的效率。

主权项

一种类金刚石镀膜制备设备，其特征在于，包括：真空腔体、伴热装置、扩散器、流量控制器和清洗装置；其中，所述流量控制器一端设有导入管，另一端设有第一导出管，所述第一导出管与所述扩散器导通；所述扩散器通过第二导出管与所述真空腔体导通，所述伴热装置分别设置于所述第一导出管和所述第二导出管上；所述清洗装置包含清洗腔体、承载盘、清洗喷头以及清洗液存储罐；其中，所述清洗腔体与所述真空腔体通过第一端口密封对接，所述清洗喷头对准所述承载盘，并于所述清洗液存储罐连接；所述承载盘用于承载基片。