[实用新型]一种单晶炉装炉装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉装炉装置，包括吊架、石英坩埚外侧固定装置和石英坩埚上端固定装置；吊架包括移动底座、竖直升降杆、水平移动杆和吊绳；石英坩埚外侧固定装置包括多组弧形卡盘，弧形卡盘的内弧面与石英坩埚外表面的弧面相匹配，相邻两组弧形卡盘通过对外侧固定装置旋紧螺栓连接；石英坩埚上端固定装置包括外套固定筒和多个内套弧形顶紧板，内套弧形顶紧板通过上端固定装置旋紧螺栓连接；外侧固定装置固定板上设置有固定孔和挂钩孔。本实用新型能够快速安全的进行石英坩埚的搬运及安装，提高工作效率，降低劳动强度，避免石英坩埚损坏。

主权项

一种单晶炉装炉装置，其特征在于：包括吊架、石英坩埚外侧固定装置和石英坩埚上端固定装置；所述的吊架包括移动底座、竖直升降杆、水平移动杆和吊绳，移动底座上设置有竖直升降杆驱动装置，竖直升降杆由竖直升降杆驱动装置驱动，竖直升降杆的活动端设置有水平移动杆驱动装置，水平移动杆由水平移动杆驱动装置驱动，水平移动杆的活动端设置有吊绳，吊绳前端设置有吊钩；所述的石英坩埚外侧固定装置包括多组弧形卡盘，每组弧形卡盘的内弧面均与石英坩埚外表面的弧面相匹配，每组弧形卡盘的左右两侧均设置有连接板，连接板上开设有连接孔，相邻两组弧形卡盘通过对应的连接板及连接板上设置的连接孔利用外侧固定装置旋紧螺栓连接；每组弧形卡盘的上端面均设置有向外延伸的上端固定装置固定板；上端固定装置固定板上设置有固定孔；所述的石英坩埚上端固定装置包括外套固定筒和多个内套弧形顶紧板，外套固定筒的内径大于石英坩埚的外径且差值为N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，内套弧形顶紧板的外弧面与石英坩埚内表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部设置有螺孔，每个内套弧形顶紧板对应高度处也设置有螺孔，内套弧形顶紧板设置于外套固定筒内部且通过上端固定装置旋紧螺栓连接；外套固定筒内表面下部设置有防滑橡胶，外套固定筒的下端面设置有向外延伸的外侧固定装置固定板，外侧固定装置固定板的数量与上端固定装置固定板的数量相对应，外侧固定装置固定板上设置有固定孔和挂钩孔。