[实用新型]一种单晶炉装炉装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉装炉装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置和热场等组成。热场包括压环、保温盖、保温罩、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、螺栓等。石英坩埚设置在石墨坩埚内部，由加热器将石英坩埚内的多晶硅等多晶材料熔化。 单晶炉装炉是指装入石英坩埚等所有拉晶必须的原辅材料。现有的单晶炉装炉工序中石英坩埚的安装往往由工作人员手动完成，工作人员戴上手套，将石英坩埚搬起运送至石墨坩埚上方，然后将石英坩埚放置在石墨坩埚内，传统的人工搬运工作强度大，且搬运安装过程中极易发生石英坩埚掉落、磕碰等损坏，造成企业损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉装炉装置，能够快速安全的进行石英坩埚的搬运及安装，提高工作效率，降低劳动强度，避免石英坩埚损坏。

本实用新型采用下述技术方案：

一种单晶炉装炉装置，包括吊架、石英坩埚外侧固定装置和石英坩埚上端固定装置；

所述的吊架包括移动底座、竖直升降杆、水平移动杆和吊绳，移动底座上设置有竖直升降杆驱动装置，竖直升降杆由竖直升降杆驱动装置驱动，竖直升降杆的活动端设置有水平移动杆驱动装置，水平移动杆由水平移动杆驱动装置驱动，水平移动杆的活动端设置有吊绳，吊绳前端设置有吊钩；

所述的石英坩埚外侧固定装置包括多组弧形卡盘，每组弧形卡盘的内弧面均与石英坩埚外表面的弧面相匹配，每组弧形卡盘的左右两侧均设置有连接板，连接板上开设有连接孔，相邻两组弧形卡盘通过对应的连接板及连接板上设置的连接孔利用外侧固定装置旋紧螺栓连接；每组弧形卡盘的上端面均设置有向外延伸的上端固定装置固定板；上端固定装置固定板上设置有固定孔；

所述的石英坩埚上端固定装置包括外套固定筒和多个内套弧形顶紧板，外套固定筒的内径大于石英坩埚的外径且差值为N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，内套弧形顶紧板的外弧面与石英坩埚内表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部设置有螺孔，每个内套弧形顶紧板对应高度处也设置有螺孔，内套弧形顶紧板设置于外套固定筒内部且通过上端固定装置旋紧螺栓连接；外套固定筒内表面下部设置有防滑橡胶，外套固定筒的下端面设置有向外延伸的外侧固定装置固定板，外侧固定装置固定板的数量与上端固定装置固定板的数量相对应，外侧固定装置固定板上设置有固定孔和挂钩孔。

所述的石英坩埚外侧固定装置包括四组弧形卡盘。

所述的弧形卡盘的内表面设置有防滑层。

所述的石英坩埚上端固定装置包括四个内套弧形顶紧板。

所述的内套弧形顶紧板外表面下部设置有防滑层。

所述的防滑层采用防滑橡胶层。

所述的竖直升降杆驱动装置和水平移动杆驱动装置采用步进电机或液压杆。

本实用新型在使用时，石英坩埚上端固定装置中的外套固定筒既能够夹紧石英坩埚上端部，又能有效防止石英坩埚受力不均而导致夹碎。石英坩埚外侧固定装置能够卡紧石英坩埚外沿并保证受力均匀。石英坩埚上端固定装置和石英坩埚外侧固定装置的连接能够在吊装过程中，使石英坩埚受到的加持力更为平均，不易发生碎落。本实用新型能够快速安全的进行石英坩埚的搬运及安装，提高工作效率，降低劳动强度，避免石英坩埚损坏。

附图说明

图1为本实用新型中吊架的结构示意图；

图2为本实用新型中石英坩埚外侧固定装置的结构示意图；

图3为本用新型中石英坩埚上端固定装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作以详细的描述：

如图1至图3所示，本实用新型所述的单晶炉装炉装置，包括吊架、石英坩埚外侧固定装置和石英坩埚上端固定装置；

吊架包括移动底座1、竖直升降杆2、水平移动杆3和吊绳4，移动底座1底部设置有车轮5，便于吊架的移动。移动底座1上设置有竖直升降杆驱动装置6，竖直升降杆2由竖直升降杆驱动装置6驱动，竖直升降杆2的活动端设置有水平移动杆驱动装置7，水平移动杆3由水平移动杆驱动装置7驱动，水平移动杆3的活动端设置有吊绳4，吊绳4前端设置有吊钩8。竖直升降杆驱动装置6和水平移动杆驱动装置7可采用步进电机或液压杆。