[实用新型]一种单晶炉装炉装置

权利要求书

1.一种单晶炉装炉装置，其特征在于：包括吊架、石英坩埚外侧固定装置和石英坩埚上端固定装置；所述的吊架包括移动底座、竖直升降杆、水平移动杆和吊绳，移动底座上设置有竖直升降杆驱动装置，竖直升降杆由竖直升降杆驱动装置驱动，竖直升降杆的活动端设置有水平移动杆驱动装置，水平移动杆由水平移动杆驱动装置驱动，水平移动杆的活动端设置有吊绳，吊绳前端设置有吊钩；所述的石英坩埚外侧固定装置包括多组弧形卡盘，每组弧形卡盘的内弧面均与石英坩埚外表面的弧面相匹配，每组弧形卡盘的左右两侧均设置有连接板，连接板上开设有连接孔，相邻两组弧形卡盘通过对应的连接板及连接板上设置的连接孔利用外侧固定装置旋紧螺栓连接；每组弧形卡盘的上端面均设置有向外延伸的上端固定装置固定板；上端固定装置固定板上设置有固定孔；所述的石英坩埚上端固定装置包括外套固定筒和多个内套弧形顶紧板，外套固定筒的内径大于石英坩埚的外径且差值为N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，内套弧形顶紧板的外弧面与石英坩埚内表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部设置有螺孔，每个内套弧形顶紧板对应高度处也设置有螺孔，内套弧形顶紧板设置于外套固定筒内部且通过上端固定装置旋紧螺栓连接；外套固定筒内表面下部设置有防滑橡胶，外套固定筒的下端面设置有向外延伸的外侧固定装置固定板，外侧固定装置固定板的数量与上端固定装置固定板的数量相对应，外侧固定装置固定板上设置有固定孔和挂钩孔。

2.根据权利要求1所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的石英坩埚外侧固定装置包括四组弧形卡盘。

3.根据权利要求1所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的弧形卡盘的内表面设置有防滑层。

4.根据权利要求1所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的石英坩埚上端固定装置包括四个内套弧形顶紧板。

5.根据权利要求1所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的内套弧形顶紧板外表面下部设置有防滑层。

6.根据权利要求3或5所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的防滑层采用防滑橡胶层。

7.根据权利要求1所述的单晶炉装炉装置，其特征在于：所述的竖直升降杆驱动装置和水平移动杆驱动装置采用步进电机或液压杆。