[发明专利]芯片封装缺陷自动识别和处理方法、系统及存储设备在审
申请号: | 201711478574.X | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108198766A | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 刘倩;饶桦强;李娜 | 申请(专利权)人: | 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 钟胜光 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种半导体封装测试领域的芯片封装缺陷自动识别和处理方法、系统及存储设备。识别中,对采集的完成环氧树脂填充的芯片图像,进行包括灰度值和图像分割处理的预处理;对预处理后的图像根据灰度值和图像分割得到晶元及基片的位置范围,并对环氧树脂进行识别;根据环氧树脂的正常位置范围要求,对不满足正常位置范围要求的环氧树脂缺陷进行识别;处理中,继芯片贴装工序完成后,在对芯片进行环氧树脂底部填充完成进入下一道工序前,将需要进行环氧树脂缺陷处理的芯片编号发送给工作人员,对该芯片编号的芯片进行处理。能够及时、可靠地完成对环氧树脂缺陷的自动识别和处理,在提高成品率的基础上,降低测试成本、时间成本和人工成本。 | ||
搜索关键词: | 环氧树脂 自动识别 芯片 预处理 存储设备 范围要求 图像分割 芯片封装 正常位置 灰度 半导体封装测试 测试成本 底部填充 缺陷处理 人工成本 时间成本 芯片贴装 芯片图像 成品率 晶元 填充 采集 图像 | ||
【主权项】:
1.一种芯片封装缺陷自动识别方法,包括,芯片图像预处理(101),对采集的芯片图像进行预处理;所述芯片图像包括晶元、基片和填充的环氧树脂;所述预处理包括灰度值处理和图像分割处理;位置范围识别(102),对预处理后的图像根据灰度值和图像分割,分别得到所述晶元及基片的位置范围,并对环氧树脂进行识别;缺陷识别(103),根据预设的环氧树脂的位置范围条件,识别不满足所述位置范围条件的环氧树脂缺陷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造