[发明专利]一种foup盒用自动门及foup盒自动开启和密封方法有效

专利信息
申请号: 201711456110.9 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN109969595B 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 赵治国;邹风山;华正雨;边弘晔;于海亮;李国彬 申请(专利权)人: 沈阳新松机器人自动化股份有限公司
主分类号: B65D55/14 分类号: B65D55/14;B65D43/26
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供了一种foup盒用自动门及一种foup盒自动开启和密封的方法。本发明提供的foup盒用自动门,包括:浮动门盖板、浮动密封门、横移气缸、横移气缸连接板、浮动门伸缩气缸。本发明可实现foup盒的自动开启和自动真空密封,缩小了密封门所占空间,密封效果好,结构合理且成本低。
搜索关键词: 一种 foup 自动门 自动 开启 密封 方法
【主权项】:
1.一种foup盒用自动门,其特征在于,包括:浮动门盖板,所述浮动门盖板上设有真空吸盘,所述真空吸盘用于吸紧foup盒的后盖;浮动密封门,所述浮动密封门上固定有密封气缸,所述密封气缸的伸缩杆和foup盒所在的基板相接触;直线轴承,所述直线轴承固定在foup盒所在的基板上,所述直线轴承的伸缩杆与所述浮动密封门相接触,所述浮动密封门可以相对foup盒所在的基板移动;横移气缸,所述横移气缸上安装有横移滑块,所述横移滑块在所述横移气缸的驱动下移动;横移气缸连接板,所述横移气缸连接板的一端与所述浮动密封门连接,所述横移气缸的另一端与所述横移气缸上的横移滑块连接;浮动门伸缩气缸,所述浮动门伸缩气缸设置在所述浮动密封门上并与所述浮动门盖板相连接,在所述浮动门伸缩气缸的一侧或两侧设有浮动门伸缩导轨滑块。
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