[发明专利]一种foup盒用自动门及foup盒自动开启和密封方法

说明书

本发明提供了一种foup盒用自动门及一种foup盒自动开启和密封的方法。本发明提供的foup盒用自动门，包括：浮动门盖板、浮动密封门、横移气缸、横移气缸连接板、浮动门伸缩气缸。本发明可实现foup盒的自动开启和自动真空密封，缩小了密封门所占空间，密封效果好，结构合理且成本低。

技术领域

本发明属于应用于工业领域的自动化真空密封装置的技术领域，尤其涉及一种foup盒用自动门及foup盒自动开启和密封方法。

背景技术

随着工业自动化的快速发展，硅片加工行业中，硅片的加工，硅片盒及硅片搬运、取放的自动化程度很高。硅片在真空环境内传输和加工是保证硅片加工洁净度重要手段，因此真空密封装置是硅片加工技术的关键设备。foup盒用自动门是连接硅片加工设备内部和外部重要的过渡部分，原有的foup盒用自动门一般采开门向内，造成密封门所占空间大，成本高，密封效果差。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种foup盒用自动门及一种foup盒自动开启和密封的方法。

第一方面，本发明实施例中提供了一种foup盒用自动门，包括：

直线轴承，所述直线轴承固定在foup盒所在的基板上；

浮动门盖板，所述浮动门盖板上设有真空吸盘，所述真空吸盘用于吸紧foup盒的后盖；

浮动密封门，所述浮动密封门上固定有密封气缸，所述密封气缸的伸缩杆和foup盒所在的基板相接触，所述直线轴承的伸缩杆与所述浮动密封门相接触，所述浮动密封门相对foup盒所在的基板可移动；

横移气缸，所述横移气缸上安装有横移滑块，所述横移滑块在所述横移气缸的驱动下移动；

横移气缸连接板，所述横移气缸连接板的一端与所述浮动密封门连接，所述横移气缸的另一端与所述横移气缸上的横移滑块连接；所述浮动密封门可以在所述横移滑块的移动的带动下移动；

浮动门伸缩气缸，所述浮动门伸缩气缸设置在所述浮动密封门上并与所述浮动门盖板相连接，在所述浮动门伸缩气缸的一侧或两侧设有浮动门伸缩导轨滑块。

可选地，在一些实施例中，本发明提供的自动门还包括密封胶垫，所述密封胶垫设置在foup盒所在的基板上，所述密封胶垫紧靠foup盒的一侧用于固定foup盒。

可选地，在一些实施例中，所述密封气缸的数量为2个，分别位于所述foup盒用自动门的上端和下端，分别记做为第一密封气缸和第二密封气缸。

可选地，在一些实施例中，在所述浮动门伸缩气缸的两侧各设有一浮动门伸缩导轨滑块，分别记做第一浮动门伸缩导轨滑块和第二浮动门伸缩导轨滑块。

可选地，在一些实施例中，所述真空吸盘的数量为两个。

可选地，在一些实施例中，还包括后罩板，所述后罩板安装在所述浮动密封门的外部。

可选地，在一些实施例中，所述直线轴承的数量为4个。

可选地，在一些实施例中，所述浮动门伸缩气缸的两侧的浮动门伸缩导轨滑块分别记做第一浮动门伸缩导轨滑块和第二浮动门伸缩导轨滑块，所述第一浮动门伸缩导轨滑块和第二浮动门伸缩导轨滑块设置在所述浮动密封门上或foup盒的解锁装置上。

第二方面，本发明还提供了一种foup盒自动开启和密封方法，利用本发明所提供的foup盒用自动门，包括步骤：

S101、固定在浮动门盖板上的真空吸盘吸紧foup盒的后盖，与浮动门盖板连接的浮动门伸缩缸的伸缩杆收缩，带动浮动门伸缩导轨滑块，将foup盒的后盖取下并移动到自动门的内部；

S102、在密封气缸和直线轴承的作用下，浮动密封门浮起；