[发明专利]一种foup盒用自动门及foup盒自动开启和密封方法

权利要求书

1.一种foup盒用自动门，其特征在于，包括：

浮动门盖板，所述浮动门盖板上设有真空吸盘，所述真空吸盘用于吸紧foup盒的后盖；

浮动密封门，所述浮动密封门上固定有密封气缸，所述密封气缸的伸缩杆和foup盒所在的基板相接触；

直线轴承，所述直线轴承固定在foup盒所在的基板上，所述直线轴承的伸缩杆与所述浮动密封门相接触，所述浮动密封门可以相对foup盒所在的基板移动；

横移气缸，所述横移气缸上安装有横移滑块，所述横移滑块在所述横移气缸的驱动下移动；

横移气缸连接板，所述横移气缸连接板的一端与所述浮动密封门连接，所述横移气缸连接板的另一端与所述横移气缸上的横移滑块连接；

浮动门伸缩气缸，所述浮动门伸缩气缸设置在所述浮动密封门上并与所述浮动门盖板相连接，在所述浮动门伸缩气缸的一侧或两侧设有浮动门伸缩导轨滑块。

2.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，还包括密封胶垫，所述密封胶垫设置在foup盒所在的基板上，且所述密封胶垫紧靠foup盒的一侧用于固定foup盒。

3.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，所述密封气缸的数量为2个，分别位于所述foup盒用自动门的上端和下端，分别记做为第一密封气缸和第二密封气缸。

4.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，在所述浮动门伸缩气缸的两侧各设有一浮动门伸缩导轨滑块，分别记做第一浮动门伸缩导轨滑块和第二浮动门伸缩导轨滑块。

5.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，所述真空吸盘的数量为两个。

6.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，还包括后罩板，所述后罩板安装在所述浮动密封门的外部。

7.根据权利要求1所述的foup盒用自动门，其特征在于，所述直线轴承的数量为4个。

8.根据权利要求4所述的foup盒用自动门，其特征在于，所述第一浮动门伸缩导轨滑块和第二浮动门伸缩导轨滑块设置在所述浮动密封门上或foup盒的解锁装置上。

9.一种foup盒自动开启和密封方法，其特征在于，利用权利要求1-8任一项所述的foup盒用自动门，包括步骤：

S101、固定在浮动门盖板上的真空吸盘吸紧foup盒的后盖，与浮动门盖板连接的浮动门伸缩缸的伸缩杆收缩，带动浮动门伸缩导轨滑块，将foup盒的后盖取下并移动到自动门的内部；

S102、在密封气缸和直线轴承的作用下，浮动密封门浮起；

S103、横移滑块在横移气缸的驱动下移动，并带动浮动密封门的移动，将浮动密封门及所述foup盒用自动门的其他组件移开，实现foup盒用自动门的自动开启；

S104、横移滑块在横移气缸的驱动下移动，并带动浮动密封门的移动，将浮动密封门退回到密封位置，在密封气缸和直线轴承的作用下，浮动密封门密封，实现foup盒用自动门的自动关闭。

10.根据权利要求9所述的foup盒自动开启和密封方法，其特征在于，所述浮动密封门和foup盒所在的基板之间密封，且所述浮动密封门相对foup盒所在的基板可移动。