[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法以及电子束激发紫外光源有效
| 申请号： | 201711448198.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108257848B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 池田光平;市川典男 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J63/04 | 分类号： | H01J63/04;H01J63/06;H01J63/02;H01J9/22 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;陈明霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种紫外光产生用靶(11)，包括：透过紫外光的基板(12)；以及设置在基板(12)上的接受电子束而发出紫外光的发光层(13)，发光层(13)为由掺杂有Sc的Al |
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| 搜索关键词： | 紫外光 产生 及其 制造 方法 以及 电子束 激发 紫外 光源 | ||
【主权项】：
1.一种紫外光产生用靶，包括：透过紫外光的基板；以及设置在所述基板上的接受电子束而发出紫外光的发光层，所述发光层为由掺杂有Sc的Al2O3形成的非晶质层。
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