[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法以及电子束激发紫外光源

说明书

一种紫外光产生用靶(11)，包括：透过紫外光的基板(12)；以及设置在基板(12)上的接受电子束而发出紫外光的发光层(13)，发光层(13)为由掺杂有Sc的Al₂O₃形成的非晶质层。

技术领域

本发明涉及一种紫外光产生用靶及其制造方法、以及电子束激发紫外光源。

背景技术

一直以来，作为产生紫外光的紫外光源已知有电子束激发紫外光源，该紫外光源中作为发光材料可以使用例如掺杂有Sc的Al₂O₃(亦表示为“Sc：Al₂O₃”)。

在论文：BinLi et al.,“Ultraviolet emission and Fano resonance in dopednano-alumina”,JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 101,053534(2007)中，探讨了Sc：Al₂O₃中的Al₂O₃的晶体结构和CL(Cathode Luminescence；阴极发光)强度之间的关系，其中记载了，当在高温(例如1200℃左右)下进行烧成时，Al₂O₃的晶体结构从δ相和θ相变为α相，α相的比率增加，从而CL强度增大。即，该文献公开了：结晶性的Sc：Al₂O₃具有规定的晶体结构(α-Al₂O₃)，由此能够获得优良的CL强度。此外，日本特开2013-245292号公报中也公开了利用了Sc：Al₂O₃的紫外线发光材料。

发明内容

发明想要解决的技术问题

然而，现有的Sc：Al₂O₃存在发光波长区域不够宽的问题。即，现有的Sc：Al₂O₃在230～300nm左右(亦称作深紫外区域)具有发光峰，而在200nm左右(亦称作真空紫外区域)几乎不发光。

因此，本发明的目的在于提供一种能够在宽的波长区域内发出紫外光的紫外光产生用靶及其制造方法，以及电子束激发紫外光源。

解决技术问题的手段

本发明在一个实施方式中提供一种紫外光产生用靶，其具备：透过紫外光的基板；以及设置在基板上的接受电子束而发出紫外光的发光层，发光层为由掺杂有Sc的Al₂O₃形成的非晶质层。

发光层的膜厚可以为2.0μm以下。

发光层中的Sc的掺杂浓度可以为4.0原子％以下。

本发明在另一实施方式中提供一种电子束激发紫外光源，其具备：上述的紫外光产生用靶；以及将电子束提供给紫外光产生用靶的电子源。

本发明在另一实施方式中还提供一种紫外光产生用靶的制造方法，其中具备：第一工序，在透过紫外线的基板上蒸镀掺杂有Sc的Al₂O₃从而形成非晶质层；以及第二工序，烧成非晶质层。

在第一工序中，非晶质层的膜厚可以为2.0μm以下。

在第一工序中，非晶质层中Sc的掺杂浓度可以为4.0原子％以下。

发明效果

根据本发明，可以在宽的波长区域内发出紫外光。

附图说明

图1是表示电子束激发紫外光源的内部结构的示意图。

图2是表示紫外光产生用靶的结构的侧视图。