[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法以及电子束激发紫外光源有效
| 申请号： | 201711448198.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108257848B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 池田光平;市川典男 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J63/04 | 分类号： | H01J63/04;H01J63/06;H01J63/02;H01J9/22 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;陈明霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 及其 制造 方法 以及 电子束 激发 紫外 光源 | ||
1.一种紫外光产生用靶，包括：
透过紫外光的基板；以及
设置在所述基板上的接受电子束而发出紫外光的发光层，
所述发光层为由掺杂有Sc的Al2O3形成的非晶质层，
所述非晶质层是指在使用了45kV、200mA的CuKα线的In-planeX射线衍射法测定下，来自Al2O3的衍射面的强度为200cps以下且来自(Sc,Al)2O3的(042)和(0210)面的强度为200cps以下的层，
所述发光层中所述Sc的掺杂浓度为0.1原子％以上且5.0原子％以下，
所述发光层的膜厚为2.0μm以下。
2.如权利要求1所述的紫外光产生用靶，其中，
所述发光层中所述Sc的掺杂浓度为4.0原子％以下。
3.一种电子束激发紫外光源，其中，
具备：
权利要求1或2所述的紫外光产生用靶；以及
将所述电子束提供给所述紫外光产生用靶的电子源。
4.一种紫外光产生用靶的制造方法，包括：
第一工序，在透过紫外线的基板上蒸镀掺杂有Sc的Al2O3从而形成非晶质层；和
第二工序，烧成所述非晶质层，
所述非晶质层是指在使用了45kV、200mA的CuKα线的In-planeX射线衍射法测定下，来自Al2O3的衍射面的强度为200cps以下且来自(Sc,Al)2O3的(042)和(0210)面的强度为200cps以下的层，
所述发光层中所述Sc的掺杂浓度为0.1原子％以上且5.0原子％以下，
在所述第一工序中，所述非晶质层的膜厚为2.0μm以下。
5.如权利要求4所述的紫外光产生用靶的制造方法，其中，
在所述第一工序中，所述非晶质层中的所述Sc的掺杂浓度为4.0原子％以下。
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