[发明专利]基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201711443387.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108107376B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姚明旭;朱国俊;方毅 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 11516 北京文苑专利代理有限公司 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法，该系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备。本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试系统，能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，能够基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点；本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试方法，能够通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据，能够准确地验证电源的可靠性，澄清电源的故障，可以很好地满足实际应用的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子环境 射频电源 测试系统 测试 阻抗 电源 验证 模拟器 动态负载 模拟客户 模拟设备 现场条件 依次连接 匹配器 澄清 采集 客户 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于等离子环境的射频电源测试系统实现射频电源的测试方法，其特征在于，所述射频电源测试系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备；等离子环境模拟设备包括腔体、真空泵、冰水机、控制柜和气瓶，其中，控制柜、气瓶和腔体依次连接；控制柜、真空泵和腔体依次连接；控制柜、冰水机和腔体依次连接；控制柜与腔体直接连接；动态负载模拟器与腔体相连接；/n测试方法包括以下步骤：/n步骤1)对腔体抽真空达到标准真空度；/n步骤2)向腔体中充入实验气体，确定气体流量；/n步骤3)打开射频电源输出合适的功率，使匹配器处于自动模式，手动调节动态负载模拟器使腔体启辉产生等离子；/n步骤4)启辉之后，继续调节动态负载模拟器调节若干阻抗点和/或改变气体的流量来改变阻抗环境，然后采集数据。/n
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