[发明专利]基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201711443387.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108107376B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姚明旭;朱国俊;方毅 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 11516 北京文苑专利代理有限公司 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子环境 射频电源 测试系统 测试 阻抗 电源 验证 模拟器 动态负载 模拟客户 模拟设备 现场条件 依次连接 匹配器 澄清 采集 客户 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于等离子环境的射频电源测试系统实现射频电源的测试方法，其特征在于，所述射频电源测试系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备；等离子环境模拟设备包括腔体、真空泵、冰水机、控制柜和气瓶，其中，控制柜、气瓶和腔体依次连接；控制柜、真空泵和腔体依次连接；控制柜、冰水机和腔体依次连接；控制柜与腔体直接连接；动态负载模拟器与腔体相连接；
测试方法包括以下步骤：
步骤1)对腔体抽真空达到标准真空度；
步骤2)向腔体中充入实验气体，确定气体流量；
步骤3)打开射频电源输出合适的功率，使匹配器处于自动模式，手动调节动态负载模拟器使腔体启辉产生等离子；
步骤4)启辉之后，继续调节动态负载模拟器调节若干阻抗点和/或改变气体的流量来改变阻抗环境，然后采集数据。
2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述步骤1为：用真空泵对腔体抽真空达到标准真空度。
3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述步骤2为：利用气瓶向腔体中充入实验气体，确定气体流量。
4.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述腔体为电感腔或电容腔。
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