[发明专利]基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法

说明书

本发明涉及一种基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法，该系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备。本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试系统，能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，能够基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点；本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试方法，能够通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据，能够准确地验证电源的可靠性，澄清电源的故障，可以很好地满足实际应用的需要。

技术领域

本发明属于射频电源测试技术领域，具体涉及一种基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法。

背景技术

在射频电源服务行业中，目前测试射频电源的常见系统有两种：一种是将射频电源直接接入固定的假负载进行测试，该系统的缺陷在于阻抗固定且只能测试射频电源的一般性能及基本参数，无法反映出电源在客户现场使用时的性能及参数；另一种如图1所示，射频电源、匹配器、动态负载模拟器和固定的假负载依次连接进行测试，该种系统虽然能够调节阻抗，在一定程度上反映出电源在客户现场使用时的性能及参数，为电源性能的横向对比测试提供一定帮助，但是毕竟与客户现场等离子环境下的阻抗存在较大的差异，电源的可靠性及数据的可参考性还是难以保证。

发明内容

针对上述现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种可避免出现上述技术缺陷的基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法，以便能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点，建立射频电源测试系统，通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据。

为了实现上述发明目的，本发明提供的技术方案如下：

一种基于等离子环境的射频电源测试系统，包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备。

进一步地，等离子环境模拟设备包括腔体、真空泵、冰水机、控制柜和气瓶，其中，控制柜、气瓶和腔体依次连接；控制柜、真空泵和腔体依次连接；控制柜、冰水机和腔体依次连接；控制柜与腔体直接连接；动态负载模拟器与腔体相连接。

进一步地，所述腔体为电感腔或电容腔。

一种基于等离子环境的射频电源测试方法，包括以下步骤：

步骤1)对腔体抽真空达到标准真空度；

步骤2)向腔体中充入实验气体，确定气体流量；

步骤3)打开射频电源输出合适的功率，使匹配器处于自动模式，手动调节动态负载模拟器使腔体启辉产生等离子；

步骤4)启辉之后，继续调节动态负载模拟器调节若干阻抗点和/或改变气体的流量来改变阻抗环境，然后采集数据。

进一步地，所述步骤1)为：用真空泵对腔体抽真空达到标准真空度。

进一步地，所述步骤2)为：利用气瓶向腔体中充入实验气体，确定气体流量。

本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试系统，能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，能够基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点；本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试方法，能够通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据，能够准确地验证电源的可靠性，澄清电源的故障，可以很好地满足实际应用的需要。

附图说明

图1为现有技术的射频电源测试系统结构框图；

图2为本发明的基于等离子环境的射频电源测试系统的结构框图；

图3为等离子环境模拟设备的结构框图；

图4为腔体的结构示意图。

具体实施方式