[发明专利]MEMS麦克风焊接质量的验证方法有效
| 申请号： | 201711436262.2 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108307282B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 端木鲁玉 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R29/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;张宁 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风焊接质量的验证方法，包括：将气密工装固定在MEMS麦克风上，其中，气密工装包括活塞、以及与活塞相连接的推杆，活塞与MEMS麦克风的声孔相对应；气密工装用于压缩MEMS麦克风的封装结构内的气体；通过设置在封装结构内的气压计模块测试封装结构内的气压；根据气压计模块测试获取的气压变化值与预设气压判定MEMS麦克风的焊接质量；若气压计模块测试获取的气压变化值大于预设气压，则MEMS麦克风的焊接质量合格；若气压计模块测试获取的气压变化值小于预设气压，则MEMS麦克风的焊接质量不合格。利用本发明，能够解决现有的焊接质量检验方法存在焊接裂缝、分层难以发现等问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 焊接 质量 验证 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风焊接质量的验证方法，包括：将气密工装固定在MEMS麦克风上，其中，所述气密工装包括活塞、以及与所述活塞相连接的推杆，所述活塞与所述MEMS麦克风的声孔相对应；所述气密工装用于压缩所述MEMS麦克风的封装结构内的气体；通过设置在所述封装结构内的气压计模块测试所述封装结构内压缩过的气体的气压；根据所述气压计模块测试获取的气压变化值与预设气压判定所述MEMS麦克风的焊接质量；若所述气压计模块测试获取的气压变化值大于所述预设气压，则所述MEMS麦克风的焊接质量合格；若所述气压计模块测试获取的气压变化值小于所述预设气压，则所述MEMS麦克风的焊接质量不合格。
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