[发明专利]一种石英晶振片的制备方法在审
| 申请号： | 201711365599.9 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN108239743A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘勇;吴卫锋;熊正茂;唐响 | 申请（专利权）人： | 池州市正彩电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/08;C23C14/18 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 247000 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及石英晶振片技术领域，具体涉及一种石英晶振片的制备方法，包括依次在石英晶体片上镀制金层，氧化物层和金属导电层；所述氧化物层为二氧化钛或二氧化锆，该氧化物层的厚度为15～20nm；所述金属导电层选自银、铝、锡中的一种；本发明提供的石英晶振片的制备方法，简单方便，对镀金电极晶振片进行处理后使其既适用于低应力膜料的厚度监测，又适用于高应力膜料的厚度监测；同时，在酸洗时不会伤及底层的镀金层，延长了石英晶振片的使用寿命，提高了生产效率，无需在使用完后将晶振片返回原厂进行重镀，不仅显著的降低了成本，同时提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶振片 氧化物层 制备 金属导电层 厚度监测 生产效率 晶振片 石英晶体片 镀金电极 二氧化钛 二氧化锆 高应力膜 使用寿命 低应力 镀金层 镀制 金层 膜料 酸洗 原厂 返回 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶振片的制备方法，其特征在于：包括依次在石英晶体片上镀制金层，氧化物层和金属导电层；所述氧化物层为二氧化钛或二氧化锆，该氧化物层的厚度为15～20nm；所述金属导电层选自银、铝、锡中的一种。
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