[发明专利]一种石英晶振片的制备方法在审
| 申请号： | 201711365599.9 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN108239743A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘勇;吴卫锋;熊正茂;唐响 | 申请（专利权）人： | 池州市正彩电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/08;C23C14/18 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 247000 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英晶振片 氧化物层 制备 金属导电层 厚度监测 生产效率 晶振片 石英晶体片 镀金电极 二氧化钛 二氧化锆 高应力膜 使用寿命 低应力 镀金层 镀制 金层 膜料 酸洗 原厂 返回 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英晶振片的制备方法，其特征在于：包括依次在石英晶体片上镀制金层，氧化物层和金属导电层；
所述氧化物层为二氧化钛或二氧化锆，该氧化物层的厚度为15～20nm；
所述金属导电层选自银、铝、锡中的一种。
2.根据权利要求1所述的石英晶振片的制备方法，其特征在于：所述金属导电层的厚度为15～20nm。
3.根据权利要求1或2所述的石英晶振片的制备方法，其特征在于：所述的制备方法具体包括：
(1)选用新的镀金晶振片，用酒精擦拭；
(2)将步骤(1)中擦拭洁净的石英晶振片放置在真空镀膜机中，在其表面镀制二氧化钛或二氧化锆薄膜；
(3)在步骤(2)的二氧化钛或二氧化锆薄膜表面再镀制金属导电层，即得所述的石英晶振片。
4.根据权利要求3所述的石英晶振片的制备方法，其特征在于：所述的步骤(1)中，用离子源轰击清洗镀金晶振片表面。
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