[发明专利]一种连续蒸镀设备有效
| 申请号： | 201711364622.2 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN107893212B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 曾兴中;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀领域，公开了一种连续蒸镀设备，包括主腔体及位于所述主腔体内的线性蒸发源、承载有线性坩埚的线性坩埚承载平台、升降单元，还包括两个线性坩埚真空转换腔体及分别位于所述线性坩埚真空转换腔体内的搬运单元，其中，所述线性坩埚真空转换腔体用于放置所述线性坩埚承载平台，所述搬运单元用于将所述线性坩埚承载平台在所述线性坩埚真空转换腔体与所述升降单元之间转移，所述升降单元用于使所述线性坩埚承载平台脱离或放入所述线性蒸发源，所述线性坩埚真空转换腔体与所述主腔体分别设有单独的抽真空装置。采用该技术方案提升了产品性能以及设备有效生产时间，达到了长时间连续生产的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚真空 坩埚 承载平台 转换腔体 升降单元 线性蒸发源 搬运单元 主腔体 体内 连续蒸镀设备 抽真空装置 产品性能 时间连续 转换腔 放入 蒸镀 主腔 承载 生产 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种连续蒸镀设备，其特征在于，包括主腔体及位于所述主腔体内的线性蒸发源、承载有线性坩埚的线性坩埚承载平台、升降单元，还包括两个线性坩埚真空转换腔体及分别位于所述线性坩埚真空转换腔体内的搬运单元，其中，所述线性坩埚真空转换腔体用于放置所述线性坩埚承载平台，所述搬运单元用于将所述线性坩埚承载平台在所述线性坩埚真空转换腔体与所述升降单元之间转移，所述升降单元用于使所述线性坩埚承载平台脱离或放入所述线性蒸发源，所述线性坩埚真空转换腔体与所述主腔体分别设有单独的抽真空装置；所述线性坩埚承载平台顶面为平面板，所述平面板上设有用于确认线性坩埚位置的卡位板，所述线性坩埚承载平台背面设有承重板，所述承重板呈“非”字排布，中间条形滑槽用于所述搬运单元取放所述线性坩埚承载平台。/n
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