[发明专利]一种连续蒸镀设备

说明书

本发明涉及蒸镀领域，公开了一种连续蒸镀设备，包括主腔体及位于所述主腔体内的线性蒸发源、承载有线性坩埚的线性坩埚承载平台、升降单元，还包括两个线性坩埚真空转换腔体及分别位于所述线性坩埚真空转换腔体内的搬运单元，其中，所述线性坩埚真空转换腔体用于放置所述线性坩埚承载平台，所述搬运单元用于将所述线性坩埚承载平台在所述线性坩埚真空转换腔体与所述升降单元之间转移，所述升降单元用于使所述线性坩埚承载平台脱离或放入所述线性蒸发源，所述线性坩埚真空转换腔体与所述主腔体分别设有单独的抽真空装置。采用该技术方案提升了产品性能以及设备有效生产时间，达到了长时间连续生产的目的。

技术领域

本发明涉及蒸镀领域，特别涉及一种连续蒸镀设备。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)生产中，现有的蒸镀设备主要分为线性源蒸镀设备和点源蒸镀设备，二者都是通过在大气环境中对蒸镀腔体内的坩埚添加有机材料，抽真空至高真空环境后，加热坩埚使有机材料气化，从而制备OLED器的有机薄膜。虽然二者制备薄膜的原理基本相同，但制备薄膜的方式存在区别：点源蒸镀设备，有效蒸发源位置相对固定，通过玻璃旋转，确保制备薄膜的均匀性；而线性蒸发源，玻璃固定，通过匀速移动线性蒸发源，确保制备薄膜的均匀性，相对而言，线性蒸发源制备的薄膜在均匀性方面较点源更具有优势；由于坩埚一次性添加的材料有限，需定期开腔重新添加材料，该方式对腔体内部蒸镀环境造成污染且影响蒸镀设备的运行时间和产量。

专利号CN 107267920B《蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法》专利公布一种连续蒸镀设备和操作方法，从蒸镀设备蒸发源坩埚圆形分布可以看出其主要针对点源蒸镀设备，其通过伸缩升降式旋转吊装机构对点源中的有效蒸发位坩埚和储备腔体中坩埚进行替换，该设计具有局限性，由于线性坩埚体积较大，坩埚重量较重，且线性坩埚呈线性排布，喷嘴上部还有隔热板，使用该专利所述的方法，不适用于线性蒸发源蒸镀设备，无法实现不开腔前提下对蒸发源内部线性源坩埚更换到达材料的续加并实现连续蒸镀的目的；且缩升降式旋转吊装机构位于点源中心部位，会干涉点源的有效蒸发范围，影响膜厚均匀性，同时蒸镀时有机材料会在缩升降式旋转吊装机构上沉积，该机构在移动时会导致材料掉落，甚至会导致沉积材料掉落至点源喷嘴位置，导致堵孔的现象。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种连续蒸镀设备，提升了产品性能以及设备有效生产时间，达到了长时间连续生产的目的。

本发明实施例提供的一种连续蒸镀设备，包括主腔体及位于所述主腔体内的线性蒸发源、承载有线性坩埚的线性坩埚承载平台、升降单元，还包括两个线性坩埚真空转换腔体及分别位于所述线性坩埚真空转换腔体内的搬运单元，其中，所述线性坩埚真空转换腔体用于放置所述线性坩埚承载平台，所述搬运单元用于将所述线性坩埚承载平台在所述线性坩埚真空转换腔体与所述升降单元之间转移，所述升降单元用于使所述线性坩埚承载平台脱离或放入所述线性蒸发源，所述线性坩埚真空转换腔体与所述主腔体分别设有单独的抽真空装置。

可选地，所述线性坩埚承载平台顶面为平面板，所述平面板上设有用于确认线性坩埚位置的卡位板，所述线性坩埚承载平台背面设有承重板，所述承载板呈“非”字排布，中间条形滑槽用于所述搬运单元取放所述线性坩埚承载平台。

可选地，所述搬运单元设有与所述条形滑槽适配的机械手臂，所述机械手臂通过驱动机构沿导轨上下前后移动。

可选地，所述搬运单元设有位置感应器，所述位置感应器用于精确控制所述机械手臂上下和前后移动的距离和位置。

可选地，所述机械手臂采用伺服电机驱动或者气缸驱动。

可选地，所述升降单元设有升降位置感应传感器，通过所述升降位置感应传感器确认所述升降单元的位置。

可选地，所述升降单元设有所述线性坩埚的固定和位置校正结构，所述固定和位置校正结构采用伺服电机驱动。