[发明专利]一种连续蒸镀设备

权利要求书

1.一种连续蒸镀设备，其特征在于，包括主腔体及位于所述主腔体内的线性蒸发源、承载有线性坩埚的线性坩埚承载平台、升降单元，还包括两个线性坩埚真空转换腔体及分别位于所述线性坩埚真空转换腔体内的搬运单元，其中，所述线性坩埚真空转换腔体用于放置所述线性坩埚承载平台，所述搬运单元用于将所述线性坩埚承载平台在所述线性坩埚真空转换腔体与所述升降单元之间转移，所述升降单元用于使所述线性坩埚承载平台脱离或放入所述线性蒸发源，所述线性坩埚真空转换腔体与所述主腔体分别设有单独的抽真空装置；所述线性坩埚承载平台顶面为平面板，所述平面板上设有用于确认线性坩埚位置的卡位板，所述线性坩埚承载平台背面设有承重板，所述承重板呈“非”字排布，中间条形滑槽用于所述搬运单元取放所述线性坩埚承载平台。

2.如权利要求1所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述搬运单元设有与所述条形滑槽适配的机械手臂，所述机械手臂通过驱动机构沿导轨上下前后移动。

3.如权利要求2所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述搬运单元设有位置感应器，所述位置感应器用于精确控制所述机械手臂上下和前后移动的距离和位置。

4.如权利要求3所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述机械手臂采用伺服电机驱动或者气缸驱动。

5.如权利要求1至4中任一所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述升降单元设有升降位置感应传感器，通过所述升降位置感应传感器确认所述升降单元的位置。

6.如权利要求5所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述升降单元设有所述线性坩埚的固定和位置校正结构，所述固定和位置校正结构采用伺服电机驱动。

7.如权利要求6所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，还包括位于所述主腔体内的夹钳单元，所述夹钳单元用于将所述线性坩埚承载平台固定在所述线性蒸发源上。

8.如权利要求7所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述线性坩埚真空转换腔体位于所述主腔体下方，与所述主腔体通过自动开关阀门连通，所述自动开关阀门采用闸式阀。

9.如权利要求8所述的一种连续蒸镀设备，其特征在于，所述线性坩埚真空转换腔体侧面有设有与外界相通的门。