[发明专利]基板传输单元与镀膜设备有效
| 申请号： | 201711347243.2 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109775416B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B65H23/26 | 分类号： | B65H23/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板传输单元与镀膜设备。基板传输单元包括传动轴、多个传输滚轮与多个轴承。这些传输滚轮分别用以传输基板。每一个传输滚轮经由对应的轴承而组装至传动轴。每一个轴承包括转子以及定子。每一个传输滚轮固定至对应的转子。定子固定至传动轴。转子与定子之间具有平行于传动轴的轴向的磁性互斥力。定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 单元 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基板传输单元，其特征在于，包括：传动轴；多个传输滚轮，分别用以传输基板；多个轴承，其中每一该些传输滚轮经由对应的该轴承而组装至该传动轴，每一该些轴承包括：转子，其中每一该些传输滚轮固定至对应的该转子；以及定子，固定至该传动轴，其中该转子与该定子之间具有平行于该传动轴的轴向的磁性互斥力，该定子经由该磁性互斥力于该转子与该定子之间产生的摩擦力带动该转子转动。
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