[发明专利]基板传输单元与镀膜设备

权利要求书

1.一种基板传输单元，其特征在于，包括：

传动轴；

多个传输滚轮，分别用以传输基板；

多个轴承，其中每一该些传输滚轮经由对应的该轴承而组装至该传动轴，每一该些轴承包括：

转子，其中每一该些传输滚轮固定至对应的该转子；以及

定子，固定至该传动轴，其中该转子与该定子之间具有平行于该传动轴的轴向的磁性互斥力，该定子经由该磁性互斥力于该转子与该定子之间产生的摩擦力带动该转子转动。

2.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，每一该些转子包括：

筒体，具有内腔，其中该内腔具有轴向壁与径向壁；以及

底盘，组装至该筒体，其中对应的该定子配置于该内腔内且被限位于该底盘与该径向壁之间，该传动轴转动时，该底盘与对应的该定子之间的该磁性互斥力使对应的该定子与该径向壁之间产生该摩擦力。

3.如权利要求2所述的基板传输单元，其特征在于，该些轴承还包括润滑油，配置于该些轴向壁与该些径向壁。

4.如权利要求2所述的基板传输单元，其特征在于，该些底盘螺合于该些筒体。

5.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，每一该些转子具有第一磁铁，每一该些定子具有第二磁铁，该些第一磁铁与该些第二磁铁之间存在该磁性互斥力。

6.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，该些轴承等距离地组装于该传动轴上。

7.如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，该传动轴具有多个定位点，该些轴承可拆卸地组装于该些定位点。

8.一种镀膜设备，包括：

如权利要求1所述的基板传输单元，其特征在于，该些基板为多个镀膜屏蔽；

放卷单元，用以输出目标基板；

镀膜单元，用以镀膜于该目标基板；以及

收卷单元，用以回收镀膜完成的该目标基板。

9.如权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，每一该些转子包括：

筒体，具有内腔，其中该内腔具有轴向壁与径向壁；以及

底盘，组装至该筒体，其中对应的该定子配置于该内腔内且被限位于该底盘与该径向壁之间，该传动轴转动时，该底盘与对应的该定子之间的该磁性互斥力使对应的该定子与该径向壁之间产生该摩擦力。

10.如权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，该些轴承还包括润滑油，配置于该些轴向壁与该些径向壁。

11.如权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，该些底盘螺合于该些筒体。

12.如权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，每一该些转子具有第一磁铁，每一该些定子具有第二磁铁，该些第一磁铁与该些第二磁铁之间存在该磁性互斥力。

13.如权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，该些轴承等距离地组装于该传动轴上。

14.如权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，该传动轴具有多个定位点，该些轴承可拆卸地组装于该些定位点。

15.如权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，还包括真空腔体，其中该镀膜单元位于该真空腔体内。