[发明专利]基板传输单元与镀膜设备有效

申请号：	201711347243.2	申请日：	2017-12-15
公开（公告）号：	CN109775416B	公开（公告）日：	2020-12-15
发明（设计）人：	黄国兴	申请（专利权）人：	财团法人工业技术研究院
主分类号：	B65H23/26	分类号：	B65H23/26
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司 11021	代理人：	杨静
地址：	中国台湾新竹***	国省代码：	台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	传输单元镀膜设备
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【说明书】：

本发明公开了一种基板传输单元与镀膜设备。基板传输单元包括传动轴、多个传输滚轮与多个轴承。这些传输滚轮分别用以传输基板。每一个传输滚轮经由对应的轴承而组装至传动轴。每一个轴承包括转子以及定子。每一个传输滚轮固定至对应的转子。定子固定至传动轴。转子与定子之间具有平行于传动轴的轴向的磁性互斥力。定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。

技术领域

本发明涉及一种传输单元与镀膜设备，尤其涉及一种基板传输单元与镀膜设备。

背景技术

现今，高效率的卷对卷工艺普遍应用于许多产品的工艺中，以降低制造成本。为了进一步提升产量而降低制造成本，在现有的卷对卷工艺设备中，会同时设置多个传输滚轮以同时传输多种基板。然而，在工艺中，各个传输滚轮所传输的基板的张力大小可能有所差异，并导致部分的基板难以精准对位或甚至松脱。若要以个别驱动各个传输滚轮的方式解决上述问题，会面临机构设计困难以及设备成本过高的问题。

发明内容

本发明提供一种基板传输单元与镀膜设备，可解决各个传输滚轮所传输的基板的张力大小有差异的问题。

本发明的基板传输单元包括传动轴、多个传输滚轮与多个轴承。这些传输滚轮分别用以传输基板。每一个传输滚轮经由对应的轴承而组装至传动轴。每一个轴承包括转子以及定子。每一个传输滚轮固定至对应的转子。定子固定至传动轴。转子与定子之间具有平行于传动轴的轴向的磁性互斥力。定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。

本发明的镀膜设备包括如前述的基板传输单元、放卷单元、镀膜单元以及收卷单元。前述的基板为镀膜屏蔽。放卷单元用以输出目标基板。镀膜单元用以经由镀膜屏蔽而镀膜于目标基板。收卷单元用以回收镀膜完成的目标基板。

基于上述，在本发明的基板传输单元与镀膜设备中，定子经由磁性互斥力于转子与定子之间产生的摩擦力带动转子转动。因此，转子与定子之间可适度地产生相对转动，进而达成适时调整张力大小的目的。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明一实施例的镀膜设备的示意图。

图2是依照本发明一实施例的基板传输单元的立体示意图。

图3是图2的基板传输单元的轴承处的剖面示意图。

图4是图2的基板传输单元的轴承的分解示意图。

图5A与图5B分别是图2的基板传输单元在调整轴承的位置的前后的示意图。

图6A与图6B分别是本发明另一实施例的基板传输单元在调整轴承的位置的前后的示意图。

【符号说明】

10：基板