[发明专利]一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液在审
申请号: | 201711339121.9 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN107902914A | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请(专利权)人: | 天津美泰真空技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙)12219 | 代理人: | 宋西磊 |
地址: | 300000 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液,该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到HF1‑5%,氟化物10‑25%,强酸5‑10%,乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)1‑5%,表面活性剂1‑2%,乙醇1‑2%,及余量的水。该玻璃基板薄化工艺蚀刻液通过优化配方,减少了氢氟酸的用量,同时添加了一些有利的辅剂,避免了HF带来的负面问题,而且蚀刻效果优良。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 基板薄 化工 蚀刻 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液,其特征在于:该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到:HF:1‑5%,氟化物:10‑25%,强酸:5‑10%,乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐):1‑5%,表面活性剂:1‑2%,乙醇:1‑2%,及余量的水。
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