[发明专利]一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液在审
| 申请号： | 201711339121.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN107902914A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请（专利权）人： | 天津美泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙)12219 | 代理人： | 宋西磊 |
| 地址： | 300000 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液，该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到HF1‑5％，氟化物10‑25％，强酸5‑10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)1‑5％，表面活性剂1‑2％，乙醇1‑2％，及余量的水。该玻璃基板薄化工艺蚀刻液通过优化配方，减少了氢氟酸的用量，同时添加了一些有利的辅剂，避免了HF带来的负面问题，而且蚀刻效果优良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 基板薄 化工 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：HF:1‑5％，氟化物:10‑25％，强酸:5‑10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)：1‑5％，表面活性剂:1‑2％，乙醇:1‑2％，及余量的水。
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