[发明专利]一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液

权利要求书

1.一种玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：HF:1-5％，氟化物:10-25％，强酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)：1-5％，表面活性剂:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：HF:3-5％，氟化物:15-25％，强酸:5-10％，乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)：3-5％，表面活性剂:1-2％，乙醇:1-2％，及余量的水。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：所述氟化物为氟化钠。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：所述强酸为盐酸或硫酸或硝酸中的一种或几种。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十六烷基硫酸钠、十八烷基硫酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、聚氧乙烯脱水山梨醇单月桂酸酯、聚氧乙烯脱水山梨醇单棕榈酸酯、聚氧乙烯脱水山梨醇单硬脂酸酯中的一种或几种。

6.根据权利要求1或2所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：所述乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)为乙二胺四乙酸二钠盐(EDTA二钠盐)或乙二胺四乙酸四钠盐(EDTA四钠盐)。

7.根据权利要求1或2所述的玻璃基板薄化工艺蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下步骤的制备方法制备得到：

(1)将氟化物、乙二胺四乙酸(EDTA)或乙二胺四乙酸盐(EDTA盐)加入水中，搅拌使其完全溶解；

(2)将HF和强酸混合后加入步骤(1)得到的水溶液中稀释；

(3)然后依次将乙醇和表面活性剂加入步骤(2)得到的溶液中，搅拌均匀。