[发明专利]大面积AZO玻璃镀膜生产线

摘要

本发明公开了大面积AZO玻璃镀膜生产线，包括镀膜线和传送线，所述镀膜线包括依次连接的进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室、出口室和质检室，相邻的室之间设有至少一个阀门，所述传送线包括传动辊和镀膜质检辊，所述进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射室、出口传送室、出口缓冲室和出口室内均设有依次连接的传动辊，所述质检室内设有镀膜质检辊，所述出口室内传动辊与镀膜质检辊相连，所述传动辊与镀膜质检辊用于传送镀膜基片。本发明提供的大面积AZO玻璃镀膜生产线能够实现各类大面积镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强。素扩散路径短，无中间产物，无元素蒸发，因而制备速度快、效率高，良品率高达95％以上，特别适合大规模工业化生产。

主权项

1.大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：包括镀膜线和传送线，所述镀膜线包括依次连接的进口室(1)、进口缓冲室(2)、进口传送室(3)、溅射室(4)、出口传送室(5)、出口缓冲室(6)、出口室(7)和质检室(8)，相邻的室之间设有至少一个阀门，所述传送线包括传动辊和镀膜质检辊，所述进口室(1)、进口缓冲室(2)、进口传送室(3)、溅射室(4)、出口传送室(5)、出口缓冲室(6)和出口室(7)内均设有依次连接的传动辊，所述质检室(8)内设有连接的镀膜质检辊和一大面积AZO玻璃质检区，所述大面积AZO玻璃质检区包括平行设置的两侧板(81)、在两侧板(81)上滑动的真空镀膜基片架(83)，和一质检系统，所述侧板(81)上设有导轨(82)，所述真空镀膜基片架(83)底部设有滑动键和传动机构，所述真空镀膜基片架(83)通过滑动键和传动机构在导轨(82)上运动，所述出口室(7)内传动辊与镀膜质检辊相连，所述镀膜质检辊与大面积AZO玻璃质检区相连。