[发明专利]大面积AZO玻璃镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711329398.3 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109912229A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质检 传动辊 传送室 缓冲室 镀膜 玻璃镀膜 出口 依次连接 进口 传送线 镀膜线 溅射室 进口室 室内 大规模工业化生产 大面积镀膜 低成本生产 镀膜基片 溅射沉积 扩散路径 通用性强 出口室 良品率 质检室 阀门 制备 蒸发 传送 | ||
1.大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：包括镀膜线和传送线，所述镀膜线包括依次连接的进口室(1)、进口缓冲室(2)、进口传送室(3)、溅射室(4)、出口传送室(5)、出口缓冲室(6)、出口室(7)和质检室(8)，相邻的室之间设有至少一个阀门，所述传送线包括传动辊和镀膜质检辊，所述进口室(1)、进口缓冲室(2)、进口传送室(3)、溅射室(4)、出口传送室(5)、出口缓冲室(6)和出口室(7)内均设有依次连接的传动辊，所述质检室(8)内设有连接的镀膜质检辊和一大面积AZO玻璃质检区，所述大面积AZO玻璃质检区包括平行设置的两侧板(81)、在两侧板(81)上滑动的真空镀膜基片架(83)，和一质检系统，所述侧板(81)上设有导轨(82)，所述真空镀膜基片架(83)底部设有滑动键和传动机构，所述真空镀膜基片架(83)通过滑动键和传动机构在导轨(82)上运动，所述出口室(7)内传动辊与镀膜质检辊相连，所述镀膜质检辊与大面积AZO玻璃质检区相连。
2.根据权利要求1所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述真空镀膜基片架(83)为至少一个，每个所述导轨(82)数量是真空镀膜基片架(83)数量的两倍，所述导轨(82)分别等高的安装于大面积AZO玻璃质检区的两侧板(81)上，每个真空镀膜基片架(83)侧边位于导轨(82)上，即真空镀膜基片架(83)在其对应的导轨(82)上滑动，即在大面积AZO玻璃质检区水平方向移动。
3.根据权利要求1所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述真空镀膜基片架(3)上并列有若干排基片孔(84)，真空镀膜基片安装于基片孔(84)内。
4.根据权利要求1所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述质检系统包括光源和顺次连接的光电探测器、滤波器、A/D转换器，所述光源与光电探测器分设于镀膜质检辊两侧，所述光源发出的光透过镀膜基片被光电探测器接收，经滤波后通过A/D转换器转换为电信号。
5.根据权利要求2所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述质检系统还包括服务器，所述服务器与A/D转换器相连，用于将转换的电信号进行分析和对比。
6.根据权利要求1所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述溅射室(4)内设有至少一个溅射盘(41)，所述溅射盘(41)设有至少三个靶位(42)，所述溅射盘(41)通过第一驱动装置靠近或者远离玻璃基片。
7.根据权利要求6所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述溅射盘(41)的靶位(42)均设有盖板(43)，所述盖板(43)与溅射盘(41)铰接，所述盖板(43)与溅射盘(41)之间设有回位弹簧。
8.根据权利要求6所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述溅射室设有溅射枪，所述溅射枪通过第三驱动装置驱动穿过靶位(42)或离开靶位(42)。
9.根据权利要求6所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述溅射盘(41)通过第二驱动装置沿玻璃基片长度方向相对玻璃基片平行移动。
10.根据权利要求6所述的大面积AZO玻璃镀膜生产线，其特征在于：所述溅射盘(41)通过第四驱动装置沿玻璃基片宽度方向相对玻璃基片平行移动。
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