[发明专利]一种用于石墨舟归整硅片的装置在审
| 申请号： | 201711320292.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN107845704A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杜晓铭;余仲;李操政;唐晓宇;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司44247 | 代理人： | 尹彦,胡朝阳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了用于石墨舟归整硅片的装置，包括底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。本发明延长了石墨舟的使用寿命，降低了其维护成本，同时适用于不同磨损程度的石墨舟片的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 归整 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，未经深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711320292.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型图形符号信息处理装置
- 下一篇：用于机动车的盘式制动器的监控装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
