[发明专利]一种用于石墨舟归整硅片的装置

说明书

技术领域

本发明涉及光伏制造领域，尤其涉及一种用于石墨舟归整硅片的装置。

背景技术

经过近十年的努力，我国已成为全世界最大的光伏制造及光伏应用国。光伏制造涉及多种装置和设备，其中，石墨舟是太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体。现有的石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、 陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为，将未镀膜的硅片放 在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

随着时间的推移，作为光伏行业重要治具，石墨舟普遍存在正常使用磨损老化的情况，直接影响石墨舟装卸片机自动装片的成功率，经常发生插片不到位的情况，对后续工艺生产造成不利的影响。

发明内容

本发明的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提供一种用于石墨舟归整硅片的装置。

本发明采用的技术方案是，一种用于石墨舟归整硅片的装置，包括：

底座；

定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；

一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。

优选为，所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。

优选为，所述提升机构包括：气缸，所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。

优选为，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触，当所述气缸推动所述气缸顶升块时通过所述斜面将所述第一垫块顶起进而顶起所述振动传递板。

优选为，所述气缸顶升块下方还设置有第二垫块用以支撑所述气缸顶升块。

优选为，所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。

优选为，还包括一设置在所述底座上的石墨舟输送装置，所述石墨舟输送装置用于将所述石墨舟以及所述定位机构输送到所述振动装置的上方。

优选为，所述石墨舟输送装置包括：设置在所述底座一端的动力源以及与所述动力源的输出轴传动连接的传动带组件。

优选为，所述传动带组件两侧还设置有用于对所述定位机构进行限位的限位条。

优选为，还包括位置传感器以及与之信号连接的控制器，所述控制器与所述振动装置信号连接，所述位置传感器用于获取所述定位机构的位置信息，所述控制器根据所述位置信息控制所述对接结构与所述定位机构进行对接。

与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：本发明通过设置在石墨舟下部的振动装置对石墨舟进行振动，利用硅片自重，采用胁迫硅片振动原理，使其沿石墨舟卡点工作斜面随振动下滑至正确位置上，以达到使未能插装到位的硅片重新定位至石墨舟卡点内的目的，保证了装片及卸片位置的精确。这样，解决了石墨舟在因不同磨损、老化情况而导致的硅片不能插装到正确位置的问题，延长了石墨舟的使用寿命和降低了维护成本。同时，对于新老舟混用的情形，也保证了装片及卸片的位置精度。

附图说明

图1为本发明用于石墨舟归整硅片的装置与石墨舟配合结构图。

图2为本发明用于石墨舟归整硅片的装置结构示意图。

图3为本发明中振动装置的前视图。

图4为本发明中振动装置的俯视图。

图5为本发明中振动装置的左视图。

图6为本发明中定位机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明做进一步说明。