[发明专利]一种用于石墨舟归整硅片的装置

权利要求书

1.一种用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，包括：

底座；

定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；

一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。

2.根据权利要求1所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。

3.根据权利要求2所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述提升机构包括：气缸，所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。

4.根据权利要求3所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触，当所述气缸推动所述气缸顶升块时通过所述斜面将所述第一垫块顶起进而顶起所述振动传递板。

5.根据权利要求4所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述气缸顶升块下方还设置有第二垫块用以支撑所述气缸顶升块。

6.根据权利要求2所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。

7.根据权利要求1所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，还包括一设置在所述底座上的石墨舟输送装置，所述石墨舟输送装置用于将所述石墨舟以及所述定位机构输送到所述振动装置的上方。

8.根据权利要求7所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述石墨舟输送装置包括：设置在所述底座一端的动力源以及与所述动力源的输出轴传动连接的传动带组件。

9.根据权利要求8所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述传动带组件两侧还设置有用于对所述定位机构进行限位的限位条。

10.根据权利要求7所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，还包括位置传感器以及与之信号连接的控制器，所述控制器与所述振动装置信号连接，所述位置传感器用于获取所述定位机构的位置信息，所述控制器根据所述位置信息控制所述对接结构与所述定位机构进行对接。