[发明专利]一种晶圆管芯通态压降的测量方法及装置有效
| 申请号： | 201711248445.1 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN108037432B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 郝瑞庭 | 申请（专利权）人： | 北京华峰测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 100070 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种晶圆管芯通态压降的测量方法及装置。其中，该测量方法包括：逐一单独向当前被测管芯中的每颗管芯的第一极施加电流，逐一获取每颗管芯对应的第一电压值；将当前被测管芯分成至少一个管芯组，任一管芯组包括至少两颗管芯；以管芯组为单位，逐步向每一管芯组内的所有管芯的第一极同时施加电流，获取每一管芯组内的每颗管芯对应的第二电压值；根据同一管芯组内的所有管芯对应的第一电压值和第二电压值，确定同一管芯组内的至少一颗管芯的通态压降；其中，每颗管芯对应的第一电压值和第二电压值均为管芯的第一极与载片台之间的电压。本发明实施例可以提高晶圆管芯通态压降测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆管 芯通态压降 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆管芯通态压降的测量方法，其特征在于，待测晶圆包括多颗管芯，所述待测晶圆的多颗管芯的第一极位于所述待测晶圆的正面，所述待测晶圆的多颗管芯的第二极相连，并通过所述待测晶圆的背面的公共电极与载片台相连，该方法包括：逐一单独向当前被测管芯中的每颗管芯的第一极施加电流，逐一获取所述每颗管芯对应的第一电压值；将所述当前被测管芯分成至少一个管芯组，任一管芯组包括至少两颗管芯；以管芯组为单位，逐步向每一管芯组内的所有管芯的第一极同时施加电流，获取每一管芯组内的每颗管芯对应的第二电压值；根据同一管芯组内的所有管芯对应的第一电压值和第二电压值，确定同一管芯组内的至少一颗管芯的通态压降；其中，所述当前被测管芯为当前与测试探针一一对应电连接的被测管芯，所述每颗管芯对应的第一电压值和第二电压值均为管芯的第一极与所述载片台之间的电压。
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