[发明专利]一种全自动硅片清洗机

摘要

本发明公开了一种全自动硅片清洗机，其技术方案要点是：包括架体，架体内设有清洗部，清洗部分为上中下三层，下层为清洗层，清洗层内设有若干个清洗槽，中层为夹取输送层，夹取输送层内设有一次夹取多个硅片的夹取机构，上层为驱动层，驱动层内设有驱动夹取机构水平运动的牵引机构和驱动夹取机构上升下降的动力机构；夹紧机构包括承载板、两组夹紧部和两个驱动夹紧部夹紧的液压缸，两个夹紧部并列设置在承载板的下表面上，液压缸设置在承载板的上表面上。本发明的优点是可以一次自动清多个硅片，大大提高了硅片清洗的效率。

主权项

1.一种全自动硅片清洗机，包括架体(1)，架体(1)内设有清洗部(11)，其特征是：清洗部(11)分为上中下三层，下层为清洗层(111)，清洗层(111)内设有若干个清洗槽(2)，中层为夹取输送层，夹取输送层内设有一次夹取多个硅片(4126)的夹取机构(41)，上层为驱动层(113)，驱动层(113)内设有驱动夹取机构(41)水平运动的牵引机构(43)和驱动夹取机构(41)上升下降的动力机构(42)；夹紧机构包括承载板(411)、两组夹紧部(412)和两个驱动夹紧部(412)夹紧的液压缸(5)，两个夹紧部(412)并列设置在承载板(411)的下表面上，液压缸(5)设置在承载板(411)的上表面上。