[发明专利]一种全自动硅片清洗机

权利要求书

1.一种全自动硅片清洗机，包括架体(1)，架体(1)内设有清洗部(11)，其特征是：清洗部(11)分为上中下三层，下层为清洗层(111)，清洗层(111)内设有若干个清洗槽(2)，中层为夹取输送层，夹取输送层内设有一次夹取多个硅片(4126)的夹取机构(41)，上层为驱动层(113)，驱动层(113)内设有驱动夹取机构(41)水平运动的牵引机构(43)和驱动夹取机构(41)上升下降的动力机构(42)；

夹取机构(41)包括承载板(411)、两组夹紧部(412)和两个驱动夹紧部(412)夹紧的液压缸(5)，两个夹紧部(412)并列设置在承载板(411)的下表面上，液压缸(5)设置在承载板(411)的上表面上，所述夹紧部(412)包括固定台(4121)、两根转杆(4122)、竖直夹取板(4123)，U型夹紧杆（4125），固定台(4121)成两列固定在承载板(411)的下表面上，转杆(4122)转动连接在固定台(4121)，液压缸(5)设置在在两根转杆(4122)之间，液压缸（5）的液压杆穿过承载板(411)，在承载板(411)下方的液压杆上固定有长方体的驱动台(51)，驱动台(51)两侧分别设有驱动杆(511)，两侧的驱动杆(511)一前一后设置，在驱动杆(511)上铰接有转动部(41221)，转动部(41221)固定在转杆(4122)上，竖直夹取板(4123)固定在转杆(4122)上，三个U型夹紧杆(4125)均匀的固定在竖直夹取板（4123）的下部，每个夹紧部(412)的两个竖直夹取板（4123）上的U型夹紧杆(4125)相互对应形成一个夹紧组合。

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：动力机构(42)包括第一电机(6)、箱体(421)、升降杆（427）、减速器(8)、螺杆(426)，在驱动层(113)底部设有承接台(1131)，承接台(1131)中设有通槽(11311)，通槽(11311)贯通整个清洗部(11)，在通槽(11311)的两侧设有槽钢(431)，在槽钢(431)的上表面上固定有第一导轨(4311)，第一导轨(4311)上滑动连接有承载台(432)，承载台(432)一侧固定有直角钢板(4321)，箱体(421)固定在两个直角钢板(4321)之间，箱体(421)内设有空腔(4211)，空腔(4211)的后侧壁上设有两根平行的第二导轨(422)，两根第二导轨(422)上滑动连接有矩形钢板(423)，矩形钢板(423)上设有两个固定部(424)，两个固定部(424)一上一下对应设置，升降杆（427）固定在固定部(424)内，升降杆（427）的下端穿出箱体(421)固定在承载板(411)的上表面上，螺杆(426)设置在两根第二导轨(422)之间，矩形钢板(423)上设有与螺杆(426)螺纹连接的螺纹套管(425)，螺杆(426)的顶端穿出箱体(421)连接在箱体(421)上表面设有的减速器(8)上，第一电机(6)与减速器(8)连接。

3.根据权利要求2所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：所述牵引机构(43)包括第二电机(61)、支撑座(72)、带轮(7)和皮带(71)，两个支撑座(72)一前一后对应设在承接台(1131)上，第二电机(61)固定在前面的支撑座(72)上，带轮(7)套接在第二电机（61）的输出轴上，后面的支撑座(72)上也设有一个所述带轮(7)，皮带(71)套接在两个带轮(7)上，在承载台(432)上设有固定板(9)，固定板(9)将皮带(71)压紧在承载台(432)上。

4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：所述清洗层(111)的侧壁上设有若干个排风口(3)，排风口(3)上设有风门(31)。

5.根据权利要求4所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：所述风门(31)为两个，两个风门(31)法兰式连接。

6.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：所述架体(1)外包覆米黄色PVC层（13）。

7.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：所述清洗部(11)一侧设有对清洗完的硅片进行烘干的烘干部(12)。