[发明专利]一种全自动硅片清洗机

说明书

本发明公开了一种全自动硅片清洗机，其技术方案要点是：包括架体，架体内设有清洗部，清洗部分为上中下三层，下层为清洗层，清洗层内设有若干个清洗槽，中层为夹取输送层，夹取输送层内设有一次夹取多个硅片的夹取机构，上层为驱动层，驱动层内设有驱动夹取机构水平运动的牵引机构和驱动夹取机构上升下降的动力机构；夹紧机构包括承载板、两组夹紧部和两个驱动夹紧部夹紧的液压缸，两个夹紧部并列设置在承载板的下表面上，液压缸设置在承载板的上表面上。本发明的优点是可以一次自动清多个硅片，大大提高了硅片清洗的效率。

技术领域

本发明涉及一种硅片清洗设备，更具体的说涉及到一种全自动硅片清洗机。

背景技术

随着可再生能源的日益贫乏，寻找新的能源途径，已经成为全人类共同的目标。

随着社会的发展，硅片的应用越来越广泛，有的应用于太阳能发电，有的应用于制作半导体的材料。

当前国内太阳能硅片厂商还普遍使用单槽或多槽式组合手工清洗，将硅片放到清洗液中进行浸泡，浸泡一段时间后将硅片取出。

这种清洗方式比较落后，随着产品需求量的增加，原有设备的清洗形式已经不能满足要求，所以一种新的全自动的清洗设备已经成为硅片生产厂家的迫切需要。

发明内容

本发明的目的是提供一种全自动硅片清洗机，其优点是可以一次自动清多个硅片，大大提高了硅片清洗的效率。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种全自动硅片清洗机，包括架体，架体内设有清洗部，清洗部分为上中下三层，下层为清洗层，清洗层内设有若干个清洗槽，中层为夹取输送层，夹取输送层内设有一次夹取多个硅片的夹取机构，上层为驱动层，驱动层内设有驱动夹取机构水平运动的牵引机构和驱动夹取机构上升下降的动力机构；

夹紧机构包括承载板、两组夹紧部和两个驱动夹紧部夹紧的液压缸，两个夹紧部并列设置在承载板的下表面上，液压缸设置在承载板的上表面上。

通过上述技术方案，当需要对硅片进行清洗时，首先将一组六个硅片摆放在第一个清洗槽内，然后驱动驱动机构，将夹紧机构运动到硅片组的正上方，然后同时驱动动力机构和液压缸，让加紧机构向下运动的同时将夹紧部打开，当下降到夹紧部将硅片组包围的程度时，再次启动液压缸，让夹紧部对硅片组进行夹紧，然后启动动力机构将夹取机构提升起来，在启动驱动机构，将硅片移动到另一个清洗槽的上方，再通过动力机构将硅片放入另一个清洗槽中进行清洗，依次重复操作，最终将硅片清洗干净。

本发明进一步设置为：所述夹紧部包括固定台、两根转杆、竖直夹取板，U型夹紧杆，固定台成两列固定在承载板的下表面上，转杆转动连接在固定台，液压缸设置在在两根转杆之间，液压杆穿过承载板，在承载板下方的液压杆上固定有长方体的驱动台，驱动台两侧分别设有驱动杆，两侧的驱动杆一前一后设置，在驱动杆上铰接有转动部，转动部固定在转杆上，竖直夹取板固定在转杆上，三个U型夹紧杆均匀的固定在竖直夹紧板的下部，每个夹紧部的两个夹紧板上的U型夹紧杆相互对应形成一个夹紧组合。

通过上述技术方案，当需要将成组的硅片夹起放入到清洗槽中时，首先驱动承载板下降，当夹紧部将硅片包围压紧板将硅片前后压紧时，启动液压缸，液压杆带动驱动台向下运动，驱动台向下运动的同时带动转动部转动，转动部转动带动转杆转动，进而转杆带动竖直夹紧板转动，竖直压紧板转动带动U型夹紧杆相向转动，然后提升承载板上升，U型夹紧杆卡接在硅片边沿设置的凹槽内，带动硅片向上移动，然后驱动机构会带动承载板横向移动，将硅片移动道不同的清洗槽的上方，然后驱动动力机构，带动承载板下降，将硅片放入到清洗槽中，然后启动液压缸，液压缸上升，带动转杆和竖直压紧板向外转动，解除对硅片的压紧，让硅片在清洗槽中进行清洗。