[发明专利]共焦显微镜模式像差矫正装置有效
申请号: | 201711238228.4 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107991235B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 刘辰光;赵唯松;刘俭;陈刚;王宇航;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学;北京锐驰恒业仪器科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/21 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 崔自京 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 共焦显微镜模式像差矫正装置,属于自适应光学和共焦显微成像技术领域,本发明为了解决现有现有像差矫正装置过于复杂、操作不便且样品预处理步骤复杂的问题。激光器发出的激光经双面45°反光镜的一侧反光镜面反射后途经分束镜到达半波片,经半波片调制后射入至空间光调制器,再经空间光调制器调制后射回至分束镜,再经分束镜反射至反射镜,然后经光阑滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜的另一侧反光镜面,经双面45°反光镜再次反射后经过偏振分束镜射至XY扫描振镜上。本发明的共焦显微镜模式像差矫正装置可在不增加样品操作以及成像装置最简化的情况下达到图像幅值增加百分之44和成像质量提升百分之17的效果。 | ||
搜索关键词: | 显微镜 模式 矫正 装置 | ||
【主权项】:
共焦显微镜模式像差矫正装置,其特征在于:包括激光器(1)、双面45°反光镜(2)、分束镜(3)、半波片(4)、空间光调制器(5)、反射镜(6)、光阑(7)、偏振分束镜(8)、XY扫描振镜(9)、扫描透镜(10)、管镜(11)、物镜(12)、1/4波片(13)、收集透镜(15)、光纤小孔(16)和光电倍增管(17);所述激光器(1)发出的激光经双面45°反光镜(2)的一侧反光镜面反射后途经分束镜(3)到达半波片(4),经半波片(4)调制后射入至空间光调制器(5),再经空间光调制器(5)调制后射回至分束镜(3),再经分束镜(3)反射至反射镜(6),然后经光阑(7)滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜(2)的另一侧反光镜面,经双面45°反光镜(2)再次反射后经过偏振分束镜(8)射至XY扫描振镜(9)上,然后经XY扫描振镜(9)反射至扫描透镜(10),再经过管镜(11)后经过1/4波片(12)偏振面翻转90°后被物镜(13)聚焦至的打在待测样品(14)上;聚焦后的光斑再从待测样品(14)上反射回物镜(13),经过1/4波片(12),偏振面再次翻转90°后依次经过、管镜(11)、扫面透镜(10)和XY扫描振镜(9),射在偏振分束镜(8)上,再经偏振分束镜(8)反射至收集透镜(15)并聚焦到光纤小孔(16),最后被光电倍增管(17)收集。
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