[发明专利]共焦显微镜模式像差矫正装置

权利要求书

1.共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：包括激光器(1)、双面45°反光镜(2)、分束镜(3)、半波片(4)、空间光调制器(5)、反射镜(6)、光阑(7)、偏振分束镜(8)、XY扫描振镜(9)、扫描透镜(10)、管镜(11)、物镜(12)、1/4波片(13)、收集透镜(15)、光纤小孔(16)和光电倍增管(17)；

所述激光器(1)发出的激光经双面45°反光镜(2)的一侧反光镜面反射后途经分束镜(3)到达半波片(4)，经半波片(4)调制后射入至空间光调制器(5)，再经空间光调制器(5)调制后射回至分束镜(3)，再经分束镜(3)反射至反射镜(6)，然后经光阑(7)滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜(2)的另一侧反光镜面，经双面45°反光镜(2)再次反射后经过偏振分束镜(8)射至XY扫描振镜(9)上，然后经XY扫描振镜(9)反射至扫描透镜(10)，再经过管镜(11)后经过1/4波片(12)偏振面翻转90°后被物镜(13)聚焦至的打在待测样品(14)上；聚焦后的光斑再从待测样品(14)上反射回物镜(13)，经过1/4波片(12)，偏振面再次翻转90°后依次经过、管镜(11)、扫面透镜(10)和XY扫描振镜(9)，射在偏振分束镜(8)上，再经偏振分束镜(8)反射至收集透镜(15)并聚焦到光纤小孔(16)，最后被光电倍增管(17)收集；

共焦显微系统的模式像差矫正装置的像差矫正方法：

步骤a、通过空间光调制器(5)调制，变换不同光波前形状，得到不同图像信息；

步骤b、通过不同图像信息，计算相应图像质量系数，计算得到液晶光调制器(5)使图像质量最优的调制状态；

步骤c、保持液晶光调制器(5)最优状态，得到更高图像质量的图像。

2.根据权利要求1所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的激光器(1)、偏振分束镜(8)、XY扫描振镜(9)、扫描透镜(10)、管镜(11)、物镜(12)和1/4波片(13)组成照明装置，所述的照明装置按照照明光传播方向依次为：激光器(1)、偏振分束镜(8)、XY扫描振镜(9)、扫描透镜(10)、管镜(11)、物镜(12)和1/4波片(13)。

3.根据权利要求1所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的偏振分束镜(8)、XY扫描振镜(9)、扫描透镜(10)、管镜(11)、物镜(12)、1/4波片(13)、收集透镜(15)、光纤小孔(16)和光电倍增管(17)组成探测装置，所述的探测装置按照照明光传播方向依次为：1/4波片(13)、物镜(12)、管镜(11)、扫描透镜(10)、XY扫描振镜(9)、偏振分束镜(8)、收集透镜(15)、光纤小孔(16)和光电倍增管(17)。

4.根据权利要求1所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的双面45°反光镜(2)、分束镜(3)、半波片(4)、空间光调制器(5)、反射镜(6)、光阑(7)组成像差矫正装置，所述的像差矫正装置按照照明光传播方向依次为：双面45°反射镜(2)、分束镜(3)、半波片(4)、空间光调制器(5)、反射镜(6)和光阑(7)。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的激光器(1)，所发射激光应为偏振方向为水平方向的线偏振光。

6.根据权利要求5所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的空间光调制器(5)为完全相位调制型，其光轴为垂直方向，并且其调制中心对准激光的光轴中心。

7.根据权利要求5所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的半波片(4)的快轴与激光偏振方向呈45°或135°，使激光通过半波片后偏振方向与空间光调制器光轴平行。

8.根据权利要求5所述的共焦显微镜模式像差矫正装置，其特征在于：所述的光阑(7)通过中心光斑，隔离其他高级衍射光。