[发明专利]共焦显微镜模式像差矫正装置

说明书

共焦显微镜模式像差矫正装置，属于自适应光学和共焦显微成像技术领域，本发明为了解决现有现有像差矫正装置过于复杂、操作不便且样品预处理步骤复杂的问题。激光器发出的激光经双面45°反光镜的一侧反光镜面反射后途经分束镜到达半波片，经半波片调制后射入至空间光调制器，再经空间光调制器调制后射回至分束镜，再经分束镜反射至反射镜，然后经光阑滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜的另一侧反光镜面，经双面45°反光镜再次反射后经过偏振分束镜射至XY扫描振镜上。本发明的共焦显微镜模式像差矫正装置可在不增加样品操作以及成像装置最简化的情况下达到图像幅值增加百分之44和成像质量提升百分之17的效果。

技术领域

本发明涉及一种像差矫正装置，具体涉及一种利用像差矫正装置提升共焦成像质量及分辨率的装置，属于自适应光学和共焦显微成像技术领域。

背景技术

共焦显微系统具有高分辨率和可三维深度成像的优点，其高分辨的特性需要焦斑尺寸接近衍射极限附近以获得最佳理论分辨率，然而光学系统的装配误差和光学元件的面形偏差会造成像差，导致焦斑歪曲和分辨率降低，需要动态的纠正这些光学系统所产生的像差，提升成像质量，目前还没有简洁实用的应用于共焦显微系统的像差矫正装置，部分装置需要复杂的样品预处理步骤，部分装置增加的像差矫正装置过于复杂，操作十分不便。

发明内容

本发明的目的是提供共焦显微镜模式像差矫正装置，以解决现有现有像差矫正装置过于复杂、操作不便且样品预处理步骤复杂的问题。

所述共焦显微镜模式像差矫正装置包括激光器、双面45°反光镜、分束镜、半波片、空间光调制器、反射镜、光阑、偏振分束镜、XY扫描振镜、扫描透镜、管镜、物镜、1/4波片、收集透镜、光纤小孔和光电倍增管；

所述激光器发出的激光经双面45°反光镜的一侧反光镜面反射后途经分束镜到达半波片，经半波片调制后射入至空间光调制器，再经空间光调制器调制后射回至分束镜，再经分束镜反射至反射镜，然后经光阑滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜的另一侧反光镜面，经双面45°反光镜再次反射后经过偏振分束镜射至XY扫描振镜上，然后经XY扫描振镜反射至扫描透镜，经过管镜后经过1/4波片偏振面翻转90°后被物镜聚焦至的打在待测样品上；聚焦后的光斑再从待测样品上反射回物镜，经过1/4波片，偏振面再次翻转90°后依次经过、管镜、扫面透镜和XY扫描振镜，射在偏振分束镜上，再经偏振分束镜反射至收集透镜并聚焦到光纤小孔，最后被光电倍增管收集。

优选的：所述的激光器、偏振分束镜、XY扫描振镜、扫描透镜、管镜、1/4波片和物镜组成照明装置，所述的照明装置按照照明光传播方向依次为：激光器、偏振分束镜、XY扫描振镜、扫描透镜、管镜、物镜和1/4波片。

优选的：所述的偏振分束镜、XY扫描振镜、扫描透镜、管镜、1/4波片、物镜、收集透镜、光纤小孔和光电倍增管组成探测装置，所述的探测装置按照照明光传播方向依次为：1/4波片、物镜、管镜、扫描透镜、XY扫描振镜、偏振分束镜、收集透镜、光纤小孔和光电倍增管。

优选的：所述的双面45°反光镜、分束镜、半波片、空间光调制器、反射镜、光阑组成像差矫正装置，所述的像差矫正装置按照照明光传播方向依次为：双面45o反射镜、分束镜、半波片、空间光调制器、反射镜和光阑。

优选的：所述的半导体激光器，所发射激光应为偏振方向为水平方向的线偏振光。

优选的：所述的空间光调制器为完全相位调制型，其光轴为垂直方向，并且其的调制中心对准激光的光轴中心。

优选的：所述的半波片的快轴与激光偏振方向呈45°或135°，使激光通过半波片后偏振方向与空间光调制器光轴平行。