[发明专利]压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法有效
| 申请号： | 201711231748.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108121155B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 佐藤一洋;宫春隆文 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘前红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法。压印装置使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案，并且包括加热机构，该加热机构通过用光照射基板的投射区域来改变基板的形状，其中加热机构包括在基板的投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，并且来自多个光学调制器的光束照明投射区域的相互不同的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 以及 用于 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种被配置为使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案的装置，其特征在于，所述装置包括：加热机构，被配置为通过用光照射投射区域来改变基板的形状，其中，加热机构包括被配置为在投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，并且来自所述多个光学调制器的光束照明投射区域的相互不同的区域。
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