[发明专利]压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法

权利要求书

1.一种被配置为使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案的装置，其特征在于，所述装置包括：

加热机构，被配置为通过用具有压印材料不被固化的波长的光照射投射区域来改变基板的形状；以及

投影光学系统，被配置为将来自加热机构的光引导到基板，

其中，加热机构包括被配置为在投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，每个光学调制器是数字微镜器件或液晶显示器，并且来自所述多个光学调制器的光束照明投射区域的相互不同的区域，

其中，经由投影光学系统用来自所述多个光学调制器的光束中的每个光束照射投射区域。

2.如权利要求1所述的装置，其中，加热机构使来自光学调制器的光进入投影光学系统所沿着的光轴相对于投影光学系统的光轴偏心。

3.如权利要求1所述的装置，其中，加热机构使来自光学调制器的光进入投影光学系统所沿着的光轴相对于投影光学系统的光轴倾斜。

4.如权利要求1所述的装置，其中，加热机构用光分别照射投射区域的多个区域中的每个区域。

5.如权利要求3所述的装置，

其中，所述光学调制器中的每个光学调制器包括多个微镜，

其中，通过改变光学调制器中所包括的所述多个微镜的操作区域，来自光学调制器的光进入投影光学系统所沿着的光轴从所述投影光学系统的光轴偏心。

6.如权利要求1所述的装置，还包括组合单元，组合单元被配置为组合来自所述多个光学调制器的光束，

其中，经组合的光束照明投射区域。

7.如权利要求6所述的装置，

其中，加热机构包括被配置为用不同波长的光束照射所述多个光学调制器的光源，并且

其中，组合单元是被配置为组合来自所述多个光学调制器的不同波长的光束的分束器。

8.如权利要求6所述的装置，

其中，加热机构包括被配置为用不同偏振方向的光束照射所述多个光学调制器的光源，并且

其中，组合单元是被配置为组合来自所述多个光学调制器的不同偏振方向的光束的分束器。

9.如权利要求1所述的装置，其中，投影光学系统在所述多个光学调制器中的每个光学调制器与基板之间建立共轭关系。

10.如权利要求1所述的装置，其中，加热机构包括：

加热光源，被配置为用光照射所述多个光学调制器；

光学元件，被配置为拆分来自加热光源的光，使得所述多个光学调制器被光照射；以及

照射光学系统，被配置为用拆分之后的光照射所述多个光学调制器。

11.如权利要求1所述的装置，其中，加热机构包括：

多个加热光源，被配置为用光束照射投射区域；以及

多个照射光学系统，被配置为用来自所述多个加热光源的相应光束照射所述多个光学调制器。

12.一种被配置为使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案的装置，其特征在于，所述装置包括：

加热机构，被配置为通过用具有压印材料不被固化的波长的光照射投射区域来改变基板的形状；以及

投影光学系统，被配置为将来自加热机构的光引导到基板，

其中，加热机构包括被配置为在投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，每个光学调制器是数字微镜器件或液晶显示器，并且来自所述多个光学调制器的光束各自照明投射区域的相同区域，

其中，经由投影光学系统用来自所述多个光学调制器的光束中的每个光束照射投射区域。