[发明专利]真空阀以及真空泵

摘要

本发明提供一种能够无备用电源地进行停电时的危险避免处理的真空阀以及真空泵。本发明的真空阀安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀包括：端子(138)，被供给来自商用电源的电力；端子(139)，被供给由真空泵所生成的再生电力；以及电源供给部(140)，分别被供给对端子(138、139)输入的电力，所述真空阀在端子(138)被供给有来自商用电源的电力时，通过此电力来动作，当来自商用电源的电力停止时，通过再生电力来动作。

主权项

1.一种真空阀，安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀的特征在于包括：第1电力输入部，输入来自商用电源的电力；第2电力输入部，输入由所述真空泵所生成的所述再生电力；以及阀电源电路，分别被供给对所述第1电力输入部及所述第2电力输入部输入的电力，所述真空阀在所述第1电力输入部被供给有来自所述商用电源的电力时，通过所述电力来动作，在来自所述商用电源的电力停止时，通过所述再生电力来动作。