[发明专利]真空阀以及真空泵

权利要求书

1.一种真空阀，安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀的特征在于包括：

第1电力输入部，输入来自商用电源的电力；

第2电力输入部，输入由所述真空泵所生成的所述再生电力；

阀电源电路，分别被供给对所述第1电力输入部及所述第2电力输入部输入的电力，其中所述真空阀在所述第1电力输入部被供给有来自所述商用电源的电力时，通过所述电力来动作，在来自所述商用电源的电力停止时，通过所述再生电力来动作；

第1防逆流电路，设置在所述阀电源电路与所述第1电力输入部之间；以及

第2防逆流电路，设置在所述阀电源电路与所述第2电力输入部之间；

在来自所述商用电源的电力输入至所述阀电源电路时，通过所述第2防逆流电路，防止从所述第1电力输入部输入的电力逆流至所述第2电力输入部，并且在来自所述商用电源的电力停止且通过所述再生电力来动作时，通过所述第1防逆流电路，防止从所述第2电力输入部输入的电力逆流至所述第1电力输入部。

2.一种真空阀，安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀的特征在于，

第1电力输入部，输入来自商用电源的电力；

第2电力输入部，输入由所述真空泵所生成的所述再生电力；以及

阀电源电路，分别被供给对所述第1电力输入部及所述第2电力输入部输入的电力，

所述真空阀在所述第1电力输入部被供给有来自所述商用电源的电力时，通过所述电力来动作，在来自所述商用电源的电力停止时，通过所述再生电力来动作，且在借助所述再生电力动作时，以比借助来自所述商用电源的电力动作时低的电力来动作，其中由所述真空泵输入至所述第2电力输入部的再生电力是在所述真空泵所产生的再生电力减去磁轴承的消耗电力所得的剩余电力范围内。

3.一种真空阀，安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀的特征在于包括：

阀驱动部；以及

阀控制部，控制所述阀控制部，且其接口面板中设有：

第1电力输入部，连接至商用电源，输入来自商用电源的电力；

第2电力输入部，连接至所述真空泵，输入由所述真空泵所生成的所述再生电力；

阀电源电路，分别被供给对所述第1电力输入部及所述第2电力输入部输入的电力，其中所述真空阀在所述第1电力输入部被供给有来自所述商用电源的电力时，通过所述电力来动作，在来自所述商用电源的电力停止时，通过所述再生电力来动作；以及

转换部，将所述再生电力的电压转换为所述阀电源电路的输入电压。

4.一种真空泵，其安装于根据权利要求1或2所述的真空阀中，所述真空泵的特征在于包括：

再生电力生成部，在停电时将设有泵转子的旋转体的旋转能量转换为电力，生成再生电力；以及

转换部，将所述再生电力的电压转换为所述阀电源电路的输入电压，并供给至所述真空阀的所述第2电力输入部。

5.一种真空泵，其安装于根据权利要求3所述的真空阀中，所述真空泵的特征在于包括：

再生电力生成部，在停电时将设有泵转子的旋转体的旋转能量转换为电力，生成再生电力；以及

供给部，将所述再生电力供给至所述真空阀的所述第2电力输入部。