[发明专利]真空阀以及真空泵

说明书

本发明提供一种能够无备用电源地进行停电时的危险避免处理的真空阀以及真空泵。本发明的真空阀安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀包括：端子(138)，被供给来自商用电源的电力；端子(139)，被供给由真空泵所生成的再生电力；以及电源供给部(140)，分别被供给对端子(138、139)输入的电力，所述真空阀在端子(138)被供给有来自商用电源的电力时，通过此电力来动作，当来自商用电源的电力停止时，通过再生电力来动作。

技术领域

本发明涉及一种真空阀(valve)以及安装于所述真空阀的真空泵(pump)。

背景技术

在用于制造半导体、平板显示器(flatpanel display)及触摸屏(touch screen)等的真空处理装置(成膜装置或蚀刻(etching)装置等)中，一边控制工艺气体(processgas)的供给量，一边进行成膜处理或蚀刻处理等。此种真空处理装置中，在工艺腔室(process chamber)与真空泵之间设有流导(conductance)可变的真空阀。通过调整所述真空阀的流导，来进行工艺腔室的压力调整。

流导可变的真空阀一般是通过改变阀体的开度来变更流导(例如参照专利文献1)。而且，阀体也能完全关闭，从而能够在全闭状态与全开状态之间进行动作，而如闸阀(gate valve)般使用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2010-135371号公报。

发明内容

[发明所要解决的问题]

此外，当在工艺过程中发生停电时，必须进行危险避免处理。例如，在使用可燃性气体的工艺的情况下，停电时要将真空阀设为开状态，以防止可燃性气体积留在工艺腔室内。而且，在使用有毒气体的工艺的情况下，在停电时要将真空阀设为全闭状态，将有毒气体封入工艺腔室内，以避免危险。

但是，进行此种危险避免处理需要备用(backup)电源，从而成为真空阀的成本上升因素。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的真空阀安装有在停电时生成再生电力以进行停止动作的真空泵，所述真空阀包括：第1电力输入部，被供给来自商用电源的电力；第2电力输入部，被供给由所述真空泵所生成的所述再生电力；以及阀电源电路，分别被供给对所述第1及第2电力输入部输入的电力，所述真空阀在所述第1电力输入部被供给有来自所述商用电源的电力时，通过所述电力来动作，在来自所述商用电源的电力停止时，通过所述再生电力来动作。

更优选的实施方式中，所述真空阀包括：防逆流电路，防止从所述第1电力输入部输入的电力逆流至所述第2电力输入部，并且防止从所述第2电力输入部输入的电力逆流至所述第1电力输入部。

更优选的实施方式中，在借助所述再生电力动作时，以比借助来自所述商用电源的电力动作时低的电力来动作。

更优选的实施方式中，所述真空阀包括：转换部，将所述再生电力的电压转换为所述阀电源电路的输入电压。

本发明的优选实施方式的真空泵包括：再生电力生成部，在停电时将设有泵转子(pump rotor)的旋转体的旋转能量转换为电力，生成再生电力；以及转换部，将所述再生电力的电压转换为所述阀电源电路的输入电压，并供给至所述真空阀的所述第2电力输入部。

本发明的优选实施方式的真空泵包括：再生电力生成部，在停电时将设有泵转子的旋转体的旋转能量转换为电力，生成再生电力；以及供给部，将所述再生电力供给至所述真空阀。

[发明的效果]

根据本发明，即使无备用电源，也能够进行停电时的真空阀的危险避免处理。

附图说明