[发明专利]抛光机台废水收集槽有效

专利信息
申请号: 201711153761.0 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN108044479B 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 何文蔚;张旭升;朱骏;许青峰;孙新光 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B55/03
代理公司: 31211 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 王江富<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种抛光机台废水收集槽,采用两个箱体,两个箱体上部通过溢水连通管连通;当连通到第一箱体的透明水位管内的水位高于高水位光传感器时,如果透明水位管的内壁过脏高水位光传感器无法侦测到水位,第一箱体内的废水水位会持续上升,通过溢水连通管进入到第二箱体,当第二箱体内水位高于浮球传感器时,第二抽水泵会开始工作将第二箱体内的废水排出。由于机械式的浮球传感器不会因水脏等原因而无法检测到水位,第二箱体内的废水会及时排出,保证第一箱体内的废水能通过溢出口及时排出,避免费水从第一箱体顶盖上的观察窗溢出,有效提高废水槽工作的安全性。
搜索关键词: 抛光 机台 废水 收集
【主权项】:
1.一种抛光机台废水收集槽,其特征在于,包括第一箱体(1)、第二箱体(6)、第一抽水泵(21)、第二抽水泵(22)、透明水位管(3)、高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)、浮球传感器(5)、溢水连通管(16)、控制器;/n所述第一箱体(1)侧壁从上到下依次设置有溢出口(15)、进水口(11)、上端口(31)、下端口(32)、主排水口(12);/n所述第一箱体(1)的顶盖设置有观察窗(13);/n所述透明水位管(3)两端分别连通到第一箱体(1)的上端口(31)及下端口(32);/n所述高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)从上到下依次设置在所述透明水位管(3)上;/n所述第一抽水泵(21)连通到主排水口(12);/n所述第二箱体(6)侧壁从上到下依次设置有溢入口(61)、辅助排水口(62);/n所述溢水连通管(16)连通所述第一箱体(1)的溢出口(15)及所述第二箱体(6)的溢入口(61);所述溢入口(61)不高于所述溢出口(15);/n所述第二抽水泵(22)连通到辅助排水口(62);/n所述浮球传感器(5)设置在所述第二箱体(6)内并且位于所述辅助排水口(62)同溢入口(61)之间;/n当第二箱体(6)内的水位高于所述浮球传感器(5)时,所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号;/n所述高水位光传感器(42),如果检测到透明水位管(3)内有水,则输出高水位信号;/n所述低水位光传感器(43),如果检测到透明水位管(3)内无水,则输出低水位信号;/n所述控制器,当所述高水位光传感器(42)输出高水位信号,则控制第一抽水泵(21)工作从第一箱体(1)抽水;当所述低水位光传感器(43)输出低水位信号,则控制第一抽水泵(21)停止工作;当所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号,则控制第二抽水泵(22)工作从第二箱体(6)抽水。/n
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