[发明专利]抛光机台废水收集槽

说明书

本发明公开了一种抛光机台废水收集槽，采用两个箱体，两个箱体上部通过溢水连通管连通；当连通到第一箱体的透明水位管内的水位高于高水位光传感器时，如果透明水位管的内壁过脏高水位光传感器无法侦测到水位，第一箱体内的废水水位会持续上升，通过溢水连通管进入到第二箱体，当第二箱体内水位高于浮球传感器时，第二抽水泵会开始工作将第二箱体内的废水排出。由于机械式的浮球传感器不会因水脏等原因而无法检测到水位，第二箱体内的废水会及时排出，保证第一箱体内的废水能通过溢出口及时排出，避免费水从第一箱体顶盖上的观察窗溢出，有效提高废水槽工作的安全性。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备，特别涉及一种抛光(POLISH)机台废水收集槽。

背景技术

常见的抛光(POLISH)机台废水收集槽如图1所示，包括箱体1、抽水泵21、透明水位管3、光传感器；

所述第一箱体1侧壁从上到下依次设置有进水口11、上端口31、下端口32、排水口12；

所述透明水位管3两端连通到箱体1的上端口31、下端口32；

沿所述透明水位管3从上到下依次设置有最高水位光传感器41、高水位光传感器42、低水位光传感器43三个光传感器；

当透明水位管3内水位高于高水位光传感器42时，抽水泵21开始工作；

当透明水位管3内水位低于低水位光传感器42时，抽水泵21停止工作；

当高水位光传感器42失效时，如果透明水位管3内水位高于最高水位光传感器41时，抽水泵21开始工作。

因为是污水废水槽，透明水位管3的内壁很容易脏，又因为是光传感器，当水位到达高水位光传感器42处时，如果透明水位管3的内壁过脏高水位光传感器42可能无法侦测到水位，抽水泵21不会启动工作。因为抽水泵21工作时箱体1会抖动，而光传感器是紧贴的安装在透明水位管3上，长时间的抖动会导致光传感器与透明水位管3之间有间隙，从而使高水位光传感器42及无法侦测到水位，抽水泵21不会启动工作。而且，如果有抽水泵21发生故障时，抽水泵21也不会启动工作。抽水泵21能正常启动工作，会导致水从箱体1上盖观察窗13溢出。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种抛光机台废水收集槽，能避免废水从箱体顶盖溢出，有效提高废水槽工作的安全性。

为解决上述技术问题，本发明提供的抛光机台废水收集槽，其包括第一箱体1、第二箱体6、第一抽水泵21、第二抽水泵22、透明水位管3、高水位光传感器42、低水位光传感器43、浮球传感器5、溢水连通管16、控制器；

所述第一箱体1侧壁从上到下依次设置有溢出口15、进水口11、上端口31、下端口32、主排水口12；

所述第一箱体1的顶盖设置有观察窗13；

所述透明水位管3两端分别连通到第一箱体1的上端口31及下端口32；

所述高水位光传感器42、低水位光传感器43从上到下依次设置在所述透明水位管3上；

所述第一抽水泵21连通到主排水口12；

所述第二箱体6侧壁从上到下依次设置有溢入口61、辅助排水口62；

所述溢水连通管16连通所述第一箱体1的溢出口15及所述第二箱体6的溢入口61；所述溢入口61不高于所述溢出口15；

所述第二抽水泵22连通到辅助排水口62；

所述浮球传感器5设置在所述第二箱体6内并且位于所述辅助排水口62同溢入口61之间；

当第二箱体6内的水位高于所述浮球传感器5时，所述浮球传感器5输出辅助排水信号；