[发明专利]抛光机台废水收集槽有效

专利信息
申请号: 201711153761.0 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN108044479B 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 何文蔚;张旭升;朱骏;许青峰;孙新光 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B55/03
代理公司: 31211 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 王江富<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 抛光 机台 废水 收集
【权利要求书】:

1.一种抛光机台废水收集槽,其特征在于,包括第一箱体(1)、第二箱体(6)、第一抽水泵(21)、第二抽水泵(22)、透明水位管(3)、高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)、浮球传感器(5)、溢水连通管(16)、控制器;

所述第一箱体(1)侧壁从上到下依次设置有溢出口(15)、进水口(11)、上端口(31)、下端口(32)、主排水口(12);

所述第一箱体(1)的顶盖设置有观察窗(13);

所述透明水位管(3)两端分别连通到第一箱体(1)的上端口(31)及下端口(32);

所述高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)从上到下依次设置在所述透明水位管(3)上;

所述第一抽水泵(21)连通到主排水口(12);

所述第二箱体(6)侧壁从上到下依次设置有溢入口(61)、辅助排水口(62);

所述溢水连通管(16)连通所述第一箱体(1)的溢出口(15)及所述第二箱体(6)的溢入口(61);所述溢入口(61)不高于所述溢出口(15);

所述第二抽水泵(22)连通到辅助排水口(62);

所述浮球传感器(5)设置在所述第二箱体(6)内并且位于所述辅助排水口(62)同溢入口(61)之间;

当第二箱体(6)内的水位高于所述浮球传感器(5)时,所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号;

所述高水位光传感器(42),如果检测到透明水位管(3)内有水,则输出高水位信号;

所述低水位光传感器(43),如果检测到透明水位管(3)内无水,则输出低水位信号;

所述控制器,当所述高水位光传感器(42)输出高水位信号,则控制第一抽水泵(21)工作从第一箱体(1)抽水;当所述低水位光传感器(43)输出低水位信号,则控制第一抽水泵(21)停止工作;当所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号,则控制第二抽水泵(22)工作从第二箱体(6)抽水。

2.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述抛光机台废水收集槽还包括最高水位光传感器(41);

所述最高水位光传感器(41)设置在所述透明水位管(3)上并位于所述高水位光传感器(42)上方;

所述最高水位光传感器(41),如果检测到透明水位管(3)内有水,则输出最高水位信号;

所述控制器,当所述最高水位光传感器(41)输出最高水位信号,则控制第一抽水泵(21)工作从第一箱体(1)抽水。

3.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述控制器,当所述浮球传感器(5)不输出辅助排水信号,则控制第二抽水泵(22)停止工作。

4.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,均大于等于所述进水口(11)的内径。

5.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,为所述进水口(11)的内径的1到1.5倍。

6.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,为所述进水口(11)的内径的1、1.1或1.2倍。

7.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述透明水位管(3)的材质为特氟龙。

8.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述第二箱体(6)顶盖上设有辅助观察窗(63)。

9.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,

所述溢水连通管(16)上设置有阀门。

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