[发明专利]抛光机台废水收集槽有效
申请号: | 201711153761.0 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN108044479B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 何文蔚;张旭升;朱骏;许青峰;孙新光 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B24B29/00 | 分类号: | B24B29/00;B24B55/03 |
代理公司: | 31211 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王江富<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 机台 废水 收集 | ||
1.一种抛光机台废水收集槽,其特征在于,包括第一箱体(1)、第二箱体(6)、第一抽水泵(21)、第二抽水泵(22)、透明水位管(3)、高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)、浮球传感器(5)、溢水连通管(16)、控制器;
所述第一箱体(1)侧壁从上到下依次设置有溢出口(15)、进水口(11)、上端口(31)、下端口(32)、主排水口(12);
所述第一箱体(1)的顶盖设置有观察窗(13);
所述透明水位管(3)两端分别连通到第一箱体(1)的上端口(31)及下端口(32);
所述高水位光传感器(42)、低水位光传感器(43)从上到下依次设置在所述透明水位管(3)上;
所述第一抽水泵(21)连通到主排水口(12);
所述第二箱体(6)侧壁从上到下依次设置有溢入口(61)、辅助排水口(62);
所述溢水连通管(16)连通所述第一箱体(1)的溢出口(15)及所述第二箱体(6)的溢入口(61);所述溢入口(61)不高于所述溢出口(15);
所述第二抽水泵(22)连通到辅助排水口(62);
所述浮球传感器(5)设置在所述第二箱体(6)内并且位于所述辅助排水口(62)同溢入口(61)之间;
当第二箱体(6)内的水位高于所述浮球传感器(5)时,所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号;
所述高水位光传感器(42),如果检测到透明水位管(3)内有水,则输出高水位信号;
所述低水位光传感器(43),如果检测到透明水位管(3)内无水,则输出低水位信号;
所述控制器,当所述高水位光传感器(42)输出高水位信号,则控制第一抽水泵(21)工作从第一箱体(1)抽水;当所述低水位光传感器(43)输出低水位信号,则控制第一抽水泵(21)停止工作;当所述浮球传感器(5)输出辅助排水信号,则控制第二抽水泵(22)工作从第二箱体(6)抽水。
2.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述抛光机台废水收集槽还包括最高水位光传感器(41);
所述最高水位光传感器(41)设置在所述透明水位管(3)上并位于所述高水位光传感器(42)上方;
所述最高水位光传感器(41),如果检测到透明水位管(3)内有水,则输出最高水位信号;
所述控制器,当所述最高水位光传感器(41)输出最高水位信号,则控制第一抽水泵(21)工作从第一箱体(1)抽水。
3.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述控制器,当所述浮球传感器(5)不输出辅助排水信号,则控制第二抽水泵(22)停止工作。
4.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,均大于等于所述进水口(11)的内径。
5.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,为所述进水口(11)的内径的1到1.5倍。
6.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述溢水连通管(16)及所述溢出口(15)、溢入口(61)的内径,为所述进水口(11)的内径的1、1.1或1.2倍。
7.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述透明水位管(3)的材质为特氟龙。
8.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述第二箱体(6)顶盖上设有辅助观察窗(63)。
9.根据权利要求1所述的抛光机台废水收集槽,其特征在于,
所述溢水连通管(16)上设置有阀门。
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