[发明专利]TFT阵列基板及其制作方法以及液晶显示面板

摘要

本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法以及液晶面板。该TFT阵列基板以可透光的硅基纳米线来作为TFT的半导体层，设置TFT的栅极由透明材料构成，像素电极遮盖住所述TFT所占据的区域，那么背光源发出的光线能够透过整个TFT与像素电极，所以TFT所占据的那部分像素区域亦透光，能够大幅提高像素开口率，提升高PPI液晶显示面板的透光率，改善高PPI液晶显示面板的显示效果。

主权项

一种TFT阵列基板，其特征在于，包括：基板(1)；设在所述基板(1)上的扫描线(21)；设在所述基板(1)上并连接所述扫描线(21)的栅极(22)，所述栅极(22)采用透明导电材料；覆盖所述基板(1)、扫描线(21)与栅极(22)的栅极绝缘层(3)；设在栅极绝缘层(3)上的多条硅基纳米线(4)，所述多条硅基纳米线(4)的投影落在所述栅极(22)上；设在所述栅极绝缘层(3)上并与扫描线(21)绝缘交叉的数据线(51)；设在所述栅极绝缘层(3)上连接所述数据线(51)并接触所述多条硅基纳米线(4)的源极(52)；设在所述栅极绝缘层(3)上并接触所述多条硅基纳米线(4)的漏极(53)；覆盖所述栅极绝缘层(3)、硅基纳米线(4)、数据线(51)、源极(52)与漏极(53)的钝化层(6)；以及设在所述钝化层(6)上的像素电极(7)，所述像素电极(7)经由贯穿所述钝化层(6)的过孔(61)接触所述漏极(53)；所述栅极(22)、多条硅基纳米线(4)、源极(52)及漏极(53)构成TFT(20)；所述像素电极(7)遮盖住所述TFT(20)所占据的区域。