[发明专利]可弯折显示面板及其制作方法

摘要

本申请公开了一种可弯折显示面板及其制作方法，该方法包括：提供一柔性基板，在柔性基板上形成无机膜层，其中，无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且深孔的底部位于柔性基板上；向深孔填充有机材料，形成有机膜层；在无机膜层和有机膜层上形成金属走线层。该方法通过气体干法刻蚀形成具有坡度的深孔，该刻蚀方法对深孔的坡度可控，从而提高金属走线的爬坡能力，减少或者避免了金属走线断线导致显示面板的电信号丢失现象，提升显示面板的品质。

主权项

一种可弯折显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供一柔性基板，在所述柔性基板上形成无机膜层，其中，所述无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且所述深孔的底部位于所述柔性基板上；向所述深孔填充有机材料，形成有机膜层；在所述无机膜层和所述有机膜层上形成金属走线层。