[发明专利]可弯折显示面板及其制作方法

权利要求书

1.一种可弯折显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一柔性基板，在所述柔性基板上形成无机膜层，其中，所述无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；

将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且所述深孔的底部位于所述柔性基板上；其中，将所述深孔区进行SF₆气体干法刻蚀，形成具有第一坡度的深孔； 将所述第一坡度的深孔进行C₂HF₅气体干法刻蚀，形成具有第二坡度的深孔；

向所述深孔填充有机材料，形成有机膜层；

在所述无机膜层和所述有机膜层上形成金属走线层，所述有机膜层上的所述金属走线层包括镂空状的金属走线设计。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述第一坡度和所述第二坡度与所述柔性基板的夹角角度范围为95°～135°。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述第一坡度的坡长小于所述第二坡度的坡长。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述有机膜层的厚度范围为1.4～1.6um。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述方法进一步包括：

在所述金属走线层依次形成平坦层、阳极层、像素层，以制成显示面板。

6.一种可弯折显示面板，其特征在于，所述可弯折阵列基板包括柔性基板、依次设置在所述柔性基板上的无机膜层、有机膜层、设置在所述无机膜层和所述有机膜层上的金属走线层；其中，所述有机膜层和所述金属走线层的制作方法如权利要求1-4任一所述的方法。

7.根据权利要求6所述的可弯折显示面板，其特征在于，

所述无机膜层包括依次层叠的阻隔层、缓冲层以及多个绝缘层，其中，每个所述绝缘层中包括金属信号层；以及

依次设置在所述绝缘层上的平坦层、阳极层、像素层以及封装层。