[发明专利]可弯折显示面板及其制作方法

说明书

本申请公开了一种可弯折显示面板及其制作方法，该方法包括：提供一柔性基板，在柔性基板上形成无机膜层，其中，无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且深孔的底部位于柔性基板上；向深孔填充有机材料，形成有机膜层；在无机膜层和有机膜层上形成金属走线层。该方法通过气体干法刻蚀形成具有坡度的深孔，该刻蚀方法对深孔的坡度可控，从而提高金属走线的爬坡能力，减少或者避免了金属走线断线导致显示面板的电信号丢失现象，提升显示面板的品质。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种可弯折显示面板及其制作方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏以其对比度高、色域广、视角宽、更加轻薄等优势迅速占领了显示面板的高端市场，并且随着其寿命短、颗粒感重等缺点的不断改善，可以预见，OLED显示屏将成为主流。OLED显示屏另一个优势在于可弯折、可折叠、可卷曲化，该优势使得其在曲面屏、可折叠屏或者窄边框(无边框)屏上有着广泛的应用。

目前，市场上已经出现了很多窄边框的OLED手机屏，其设计理念大同小异，如图1或者图2所示的两种实施例，显示屏采用高分子材料的柔性衬底，除开Active area(AA)显示区域之外，还分为四个边框区域(boarder)，即上boarder区，左boarder区，右boarder区和下boarder区，这四个boarder区内是各种包括GOA在内的各种金属走线，下boarder区域内还有显示面板的驱动IC和柔性印刷电路板FPC，用于驱动和输送整个屏幕的电信号。甚至将下boarder区变的可弯折，并将整个Array基板的下boarder区中包括驱动IC及FPC一通弯折到屏幕的背面进行Bonding绑定，从而增大屏占比，达到缩小边框宽度的目的。

然而，为了将下boarder区整体弯折到屏幕背面，需要在Array基板的Bendingarea(弯折区)的区域中将不易弯折的无机层薄膜全部蚀刻掉，只剩下柔性衬底，并且在此区域内填充易弯折的有机材料，在Bending area区域通过耐弯折设计的金属走线将AA区下方Fanout(扇出)区域的金属走线与驱动IC的金属走线连接起来，实现电信号顺畅的传输。但是，相关技术中通过弯折下boarder区达到缩小边框宽度的技术仍然存在着一些问题，例如深孔(Deep Hole，一般称为DH)区域被蚀刻掉的无机层较深，易形成较陡的尖角，在填充完有机材料并电镀金属走线后，而金属走线在DH台阶处爬坡较困难，台阶覆盖性差，台阶处金属走线较其他区域的金属走线薄很多，易出现断线，导致断路，从而使整个显示面板的电信号丢失，造成不可挽回的损失。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种可弯折显示面板及其制作方法，以解决现有技术中金属走线在DH台阶处爬坡较困难，台阶覆盖性差，台阶处金属走线较其他区域的金属走线薄很多，易出现断线，导致断路，从而使整个显示面板的电信号丢失的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种可弯折显示面板的制作方法，所述方法包括：提供一柔性基板，在所述柔性基板上形成无机膜层，其中，所述无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且所述深孔的底部位于所述柔性基板上；向所述深孔填充有机材料，形成有机膜层；在所述无机膜层和所述有机膜层上形成金属走线层。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种可弯折显示面板，所述可弯折阵列基板包括柔性基板、依次设置在所述柔性基板上的无机膜层、有机膜层、设置在所述无机膜层和所述有机膜层上的金属走线层；其中，所述有机膜层和所述金属走线层的制作方法如上述所述的方法。

本申请的有益效果是：本申请提供的可弯折显示面板的制作方法是通过气体干法刻蚀形成具有坡度的深孔，该刻蚀方法对深孔的坡度可控，从而提高金属走线的爬坡能力，减少或者避免了金属走线断线导致显示面板的电信号丢失现象，提升显示面板的品质。

附图说明