[发明专利]真空蒸镀装置和真空涂覆方法在审
| 申请号： | 201711084964.9 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108070825A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | F.马雄奇克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司光学国际有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 宣力伟;安文森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及真空蒸镀装置（10），具有‑真空室（2）；‑用于接收蒸镀材料（11）的坩埚（31）；‑具有用于蒸镀材料（11）的储存容器（41）的补充装置（40）；以及‑定位装置（50），该定位装置被形成为用于使该坩埚（31）在蒸镀位置（33）与补充位置（34）之间往复运动，该补充位置用于从该储存容器中补充蒸镀材料；其中该蒸镀位置（33）和该补充位置（34）位于该真空室内部。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀材料 真空蒸镀装置 补充 储存容器 定位装置 蒸镀 坩埚 真空室内部 补充装置 真空涂覆 真空室 | ||
【主权项】：
1.真空蒸镀装置（10），具有：-真空室（2）；-用于接收蒸镀材料（11）的坩埚（31）；-用于蒸镀材料（11）的储存容器（41）；以及-定位装置（50），所述定位装置被形成为用于使所述坩埚（31）在蒸镀位置（33）与补充位置（34）之间往复运动，所述补充位置用于从所述储存容器（41）中补充蒸镀材料（11）；其特征在于，所述蒸镀位置（33）和所述补充位置（34）位于所述真空室内部。
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